黑曼巴半导体(无锡)有限公司陈思雯获国家专利权
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龙图腾网获悉黑曼巴半导体(无锡)有限公司申请的专利一种用于CMP研磨的保持环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224209702U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521065618.6，技术领域涉及：B24B37/32；该实用新型一种用于CMP研磨的保持环是由陈思雯;余江设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CMP研磨的保持环在说明书摘要公布了：本实用新型涉及CMP研磨组件晃动研发技术领域，且公开了一种用于CMP研磨的保持环，包括底座，所述底座的一端固定连接有挡圈，所述挡圈的外侧插接有清洗组件，所述底座的另一端固定连接有调节组件，所述清洗组件包括插接在挡圈外侧的若干组燕尾扣，若干组所述燕尾扣的一侧固定连接有清洗圈。该用于CMP研磨的保持环，通过清洗组件的设置，在使用时，固定清洗圈，通过卡扣啮合快速组装完成，当保持环在进行旋转或移动时，固定在保持环上的清洗圈转动，带动清洗圈上的毛刷对加工圆晶进行清洗擦拭，毛刷通过移动旋转清理圆晶表面的碎屑，防止碎屑在后续的研磨过程中，混入抛光液中，进而对晶圆表面造成划伤或其他缺陷，从而提高圆晶的打磨效果。
本实用新型一种用于CMP研磨的保持环在权利要求书中公布了：1.一种用于CMP研磨的保持环，包括底座1，其特征在于：所述底座1的一端固定连接有挡圈2，所述挡圈2的外侧插接有清洗组件3，所述底座1的另一端固定连接有调节组件4， 所述清洗组件3包括插接在挡圈2外侧的若干组燕尾扣301，若干组所述燕尾扣301的一侧固定连接有清洗圈302，所述清洗圈302的上端一侧固定连接有毛刷303； 所述调节组件4包括固定连接在底座1另一端的伸缩杆401，所述伸缩杆401的外部嵌套有若干组弹簧402，所述伸缩杆401的另一端固定连接有弹性垫片403。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人黑曼巴半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园B408；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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