安徽三晶半导体有限公司程平获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽三晶半导体有限公司申请的专利一种晶圆加工用打磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224209695U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521095352.X，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型一种晶圆加工用打磨装置是由程平;王强;柴福设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工用打磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆加工用打磨装置，包括：用于放置晶圆的晶圆转动盘与驱动机构，所述驱动机构包括摇摆电机单元及连接于固定架，所述固定架用于装备与晶圆接触连接的研磨夹具；所述摇摆电机单元上设有摇臂，所述摇臂上设有限定杆和导向杆，所述固定架远离研磨夹具一侧设有与限定杆和导向杆的锁定孔和导向孔，所述固定架通过锁定孔和导向孔嵌套于限定杆和导向杆；所述固定架内还设有锁定件，所述锁定件抵持于贯穿锁定孔内的限定杆侧壁。本实用新型所提供的通过固定架与摇臂之间采用的活动连接，在支撑螺母和锁定件帮助下实现固定架高度便捷调整。
本实用新型一种晶圆加工用打磨装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用打磨装置，其特征在于，包括： 用于放置晶圆的晶圆转动盘101与驱动机构，所述驱动机构包括摇摆电机单元103及连接于固定架200，所述固定架200用于装备与晶圆接触连接的研磨夹具102； 所述摇摆电机单元103上设有摇臂300，所述摇臂300上设有限定杆310和导向杆320，所述固定架200远离研磨夹具102一侧设有与限定杆310和导向杆320的锁定孔201和导向孔202，所述固定架200通过锁定孔201和导向孔202嵌套于限定杆310和导向杆320； 所述固定架200内还设有锁定件220，所述锁定件220抵持于贯穿锁定孔201内的限定杆310侧壁，当需要改变固定架200与晶圆转动盘101距离时，通过抬升或降低锁定件220与限定杆310锁定位置。
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