江苏中鲲智能装备有限公司王海龙获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中鲲智能装备有限公司申请的专利一种晶圆保持环涂胶装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224208409U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521039272.2,技术领域涉及:B05C5/02;该实用新型一种晶圆保持环涂胶装置是由王海龙;董雨笋;王玲设计研发完成,并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆保持环涂胶装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆保持环涂胶装置,包括箱体、涂胶单元、供胶单元、称重单元和视觉检测单元;涂胶单元和称重单元位于箱体内部,涂胶单元与供胶单元连通;所述涂胶单元包括三轴运动组件和双组份螺杆泵计量阀、静态混合管、截止阀和出胶针头,所述三轴运动组件具备XYZ三方向运动功能,所述双组份螺杆泵计量阀、静态混合管、截止阀和出胶针头设置在Z方向上,所述双组份螺杆泵计量阀的输出端设置静态混合管,所述出胶针头位于静态混合管的正下方,所述截止阀对出胶针头进行控制,所述双组份螺杆泵计量阀通过管道连接供胶单元。本实用新型将涂胶和检测进行相结合,无需进行转移,从而提高检测精度和加工效率,省时省力,同时也能够减低成本。
本实用新型一种晶圆保持环涂胶装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆保持环涂胶装置,其特征在于:包括箱体、涂胶单元、供胶单元、称重单元和视觉检测单元;所述涂胶单元和称重单元位于箱体内部,所述涂胶单元与供胶单元连通;所述涂胶单元包括三轴运动组件和双组份螺杆泵计量阀、静态混合管、截止阀和出胶针头,所述三轴运动组件具备XYZ三方向运动功能,所述双组份螺杆泵计量阀、静态混合管、截止阀和出胶针头设置在Z方向上,所述双组份螺杆泵计量阀的输出端设置静态混合管,所述出胶针头位于静态混合管的正下方,所述截止阀对出胶针头进行控制,所述双组份螺杆泵计量阀通过管道连接供胶单元;所述视觉检测单元包括视觉检测相机和检测设备,所述视觉检测相机设置在箱体顶部,且位于称重单元的正上方。
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