上海聚克流体控制有限公司宋海晓获国家专利权
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龙图腾网获悉上海聚克流体控制有限公司申请的专利单Q表强化学习融合多头注意力的半导体阀门分析系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121834248B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610306069.X，技术领域涉及：G06F18/20；该发明授权单Q表强化学习融合多头注意力的半导体阀门分析系统是由宋海晓;薛辉设计研发完成，并于2026-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本单Q表强化学习融合多头注意力的半导体阀门分析系统在说明书摘要公布了：本发明涉及人工智能及半导体制造过程监控技术领域，具体公开了单Q表强化学习融合多头注意力的半导体阀门分析系统，该系统通过多维感知前端采集参数，利用异构数据预处理模块构建状态向量，经多头注意力特征融合引擎生成全局表征，并由物理约束引导的单Q表强化学习机结合物理机理模型限制动作空间以输出最优指令，最后通过闭环执行与监控反馈模块动态更新价值矩阵。本发明能够挖掘深层特征关联，确保决策符合物理规律，显著提升学习效率与控制稳定性，保障半导体生产安全。
本发明授权单Q表强化学习融合多头注意力的半导体阀门分析系统在权利要求书中公布了：1.一种单Q表强化学习融合多头注意力的半导体阀门分析系统，其特征在于，包括： 多维感知前端，用于实时同步采集半导体工艺腔室内的流体物理参数、阀门机械状态参数以及环境干扰参数； 异构数据预处理模块，用于多维感知前端采集的原始信号进行高速采样； 多头注意力特征融合引擎，基于初始状态向量序列，生成增强后的全局表征向量； 物理约束引导的单Q表强化学习机，用于接收增强后的全局表征向量，通过预设的1024个细分的离散化逻辑状态以及单Q表结构存储状态动作价值信息，并结合嵌入的物理机理模型对动作空间进行合法性边界限制，以通过采用贝尔曼方程作为核心更新函数进行迭代学习，输出最优的阀门分析指令； 闭环执行与监控反馈模块，用于通过数字信号转换单元将阀门分析指令转化为高分辨率的脉冲宽度调制信号并发送至功率驱动控制单元，以驱动执行机构动作，并同步捕获执行后的系统状态响应，通过计算实际响应与预期目标的偏差来动态更新物理约束引导的单Q表强化学习机中的价值矩阵。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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