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龙图腾网获悉西安建筑科技大学申请的专利一种Mo-Ti-Ta-Ce合金靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121087440B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511252656.7，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种Mo-Ti-Ta-Ce合金靶材及其制备方法和应用是由胡卜亮;李佳;胡平;叶雯婷;王快社;杨克设计研发完成，并于2025-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种Mo-Ti-Ta-Ce合金靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种Mo‑Ti‑Ta‑Ce合金靶材及其制备方法和应用，属于合金溅射靶材和粉末冶金技术领域。该合金靶材的制备方法为：按照各元素的原子百分比称取钛、钽、铈和钼；在惰性气体保护下，称取钽粉、二氧化铈粉和钼粉进行第一球磨处理，得到Mo‑Ta‑CeO2预合金粉末；称取TiH2粉末与剩余Mo粉进行第二球磨处理，得到Mo‑Ti预合金粉末；将上述两种预合金粉末混合均匀后，进行冷等静压，得到冷压坯体；将其烧结得到烧结坯体；对其进行轧制处理得到轧后靶材；将其进行退火处理，得到Mo‑Ti‑Ta‑Ce合金靶材。通过该合金靶材制备的薄膜具有优异的耐腐蚀性、抗氧化性和电导率。

本发明授权一种Mo-Ti-Ta-Ce合金靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种Mo-Ti-Ta-Ce合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 按照Mo-Ti-Ta-Ce合金靶材各元素的原子百分比称取各原料：20%~40%Ti、5%~12%Ta和0.05%~0.12%Ce，余量为Mo和不可避免的杂质，Mo≥45%，合计为100%； 在惰性气体保护下，按照5%~12%Ta、0.05%~0.12%Ce和15%~21%Mo称取Ta粉、CeO2粉和Mo粉，混合均匀后得到第一混合粉，对第一混合粉进行第一球磨处理，得到Mo-Ta-CeO2预合金粉末；第一球磨处理中，球料比为5~10:1； 在惰性气体保护下，按照20%~40%Ti称取TiH2粉末，与剩余Mo粉混合均匀后得到第二混合粉，对第二混合粉进行第二球磨处理，得到Mo-Ti预合金粉末；第二球磨处理中，球料比为2~6:1； 在惰性气体保护下，将Mo-Ta-CeO2预合金粉末和Mo-Ti预合金粉末进行合批混合，混合均匀后，进行冷等静压，得到冷压坯体； 将冷压坯体在还原性气氛下进行烧结，得到烧结坯体； 对烧结坯体进行轧制处理得到轧后靶材；将轧后靶材在900℃~1050℃、还原性气氛下进行退火处理，得到Mo-Ti-Ta-Ce合金靶材。

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