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龙图腾网获悉西安理工大学申请的专利一种光学薄膜表面缺陷检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120142333B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510349250.4，技术领域涉及：G01N21/956；该发明授权一种光学薄膜表面缺陷检测系统是由张英鸽;邵伟;高瑞鹏;孟玥辰;千勃兴;田亮;房文锦设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学薄膜表面缺陷检测系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种光学薄膜表面缺陷检测系统，尤其适用于光学薄膜、晶圆及传感器检测。该系统整合照明、共聚焦定位、微分显微干涉、相移、成像及数据处理六大模块。本发明采用双光路成像模式：CCD记录的微分干涉显微光路和显微暗场成像光路。微分干涉显微光路利用干涉和相移技术高灵敏度获取薄膜表面的微观形貌及相位分布信息；显微暗场成像光路通过增强表面散射信号突出薄膜表面缺陷、颗粒及微纳结构特征。本发明具有结构简单、单次测量范围大、分辨率高、精度优等特点，有效克服传统技术三维信息缺失、效率低、适用范围窄及定位困难等缺陷，显著提升检测效能与适用性。

本发明授权一种光学薄膜表面缺陷检测系统在权利要求书中公布了：1.一种光学薄膜表面缺陷检测系统，其特征在于，包括：照明模块1，用于形成准直光束，所述准直光束通过起偏器10和第一14波片11后形成圆偏振光； 共聚焦定位模块2，通过其内的第一偏振分光棱镜12将所述圆偏振光分为两路线偏振光，其中一路光束通过其内的成像透镜13到达其内的光电探测器PD14，另一路光束进入微分显微干涉模块3； 微分显微干涉模块3，内设有第二偏振分光棱镜15，用于将进入的另一路光束分为上下两路光束，上路光束进入相移模块4；下路光束经中继透镜16照射在光轴晶体17表面，光轴晶体17将该光束微分剪切成振动方向相互垂直的两束线偏振光，所述两束线偏振光通过显微物镜18汇聚光学薄膜表面，形成反射光束，反射光束再次通过显微物镜18及光轴晶体17后合成一束反射光束返回，并在第二偏振分光棱镜15处再次分为两路反射光束，一路反射光束进入相移模块4；另一路反射光束返回共聚焦定位模块2； 相移模块4，设有第二14波片20和检偏器21，用于对上路光束和一路反射光束进行相移处理，处理后的光束进入成像模块5； 成像模块5，包括Tube成像透镜22和CCD23，所述Tube成像透镜22用于接收相移后的一路反射光束和上路光束以形成干涉条纹；CCD23用于采集该干涉条纹； 数据处理模块6，包括PC24，所述PC24与光电探测器PD14和CCD23连接，用于接收并处理来自光电探测器PD14的信号和CCD23的信号，以得到光学薄膜表面的信息。

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