浙江华睿科技股份有限公司许文林获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江华睿科技股份有限公司申请的专利一种图案缺陷检测方法、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119941624B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411780149.6,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种图案缺陷检测方法、设备及存储介质是由许文林;李晶;俞超睿;周璐设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种图案缺陷检测方法、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请公开了一种图案缺陷检测方法、设备及存储介质,该方法包括:获取待检测图像中目标图案对应的整体图案区域和若干局部图案区域,并从目标图案对应的模板信息中获取整体模板图像和若干局部模板图像;将整体图案区域与整体模板图像对齐,分别将各局部图案区域与对应的局部模板图像进行对齐;基于对齐后的整体图案区域与整体模板图像之间的第一像素值差异,确定整体图案区域中的第一缺陷位置,分别基于对齐后的各局部图案区域与对应的局部模板图像之间的第二像素值差异,确定各局部图案区域中的第二缺陷位置;综合第一缺陷位置和各第二缺陷位置,确定待检测图像中目标图案的第三缺陷位置。通过上述方法,本申请能够提高图案缺陷检测的准确性。
本发明授权一种图案缺陷检测方法、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种图案缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括: 获取待检测图像中目标图案对应的整体图案区域和若干局部图案区域,并从所述目标图案对应的模板信息中获取整体模板图像和若干局部模板图像,其中,各所述局部图案区域分别对应所述目标图案的不同局部区域,所述整体模板图像和所述局部模板图像分别为所述目标图案在无缺陷状态下的整体图像和局部图像,各所述局部图案区域与各所述局部模板图像一一对应; 将所述整体图案区域与所述整体模板图像对齐,以及分别将各所述局部图案区域与对应的所述局部模板图像进行对齐; 基于对齐后的所述整体图案区域与整体模板图像之间的第一像素值差异,确定所述整体图案区域中的第一缺陷位置,以及,分别基于对齐后的各所述局部图案区域与对应的局部模板图像之间的第二像素值差异,确定各所述局部图案区域中的第二缺陷位置; 综合所述第一缺陷位置和各所述第二缺陷位置,确定所述待检测图像中所述目标图案的第三缺陷位置。
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