上海科技大学吴涛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海科技大学申请的专利一种微机械加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119619549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411760375.8,技术领域涉及:G01P15/08;该发明授权一种微机械加速度计是由吴涛;熊瑞宏设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微机械加速度计在说明书摘要公布了:本发明提供一种微机械加速度计,包括:至少四个固定锚点,固定锚点整体形成矩形,且位于矩形的四个顶点处;惯性质量模块,位于矩形的中间位置且与所有固定锚点分别连接;多个弹性连接模块,分别连接于惯性质量模块与固定锚点之间;以及多个检测电容模块,设置于惯性质量模块上,用于检测惯性质量模块的位移;其中,位于同一侧的两个固定锚点接入正电压,位于另一侧的两个固定锚点接入负电压,或,其中一组位于对角线位置的固定锚点接入正电压,其中另一组位于对角线位置的固定锚点接入负电压,所述正电压和所述负电压的幅值相等;固定锚点、弹性连接模块以及惯性质量模块形成通路。本发明结构紧凑,能够显著提高电容式微机械加速度计的灵敏度。
本发明授权一种微机械加速度计在权利要求书中公布了:1.一种微机械加速度计,其特征在于,包括: 至少四个固定锚点,所述固定锚点整体形成矩形,且位于所述矩形的四个顶点处; 惯性质量模块,位于所述矩形的中间位置且与所有所述固定锚点分别连接; 多个弹性连接模块,分别连接于所述惯性质量模块与所述固定锚点之间,所述弹性连接模块包括: 线性折叠梁,其一端连接于所述惯性质量模块上,其另一端连接于所述固定锚点上; 包括两个直梁和一个半圆形梁,其中一个直梁连接于所述半圆形梁的一端与所述惯性质量模块之间,另一个直梁连接于所述半圆形梁的另一端与所述固定锚点之间; 非线性弯梁,其一端连接于所述惯性质量模块上,其另一端连接于所述固定锚点上,所述非线性弯梁的宽度为固定值,其侧边的形状满足余弦函数曲线形状;以及 多个检测电容模块,设置于所述惯性质量模块上,所述检测电容模块用于检测所述惯性质量模块的位移; 其中,所述惯性质量模块的位移方向设定为第一方向,在所述惯性质量模块的表面且垂直于所述第一方向设定为第二方向,多个所述检测电容模块沿所述第二方向设置于所述惯性质量模块上; 沿所述第二方向,位于同一侧的两个所述固定锚点接入正电压,位于另一侧的两个所述固定锚点接入负电压,或,其中一组位于对角线位置的所述固定锚点接入正电压,其中另一组位于对角线位置的所述固定锚点接入负电压,所述正电压和所述负电压的幅值相等; 所述固定锚点、所述弹性连接模块以及所述惯性质量模块形成通路,在通电加热后,所述线性折叠梁产生正刚度系数,所述非线性弯梁产生负刚度系数,所述正刚度系数和所述负刚度系数相叠加所形成的等效刚度系数为零; 所述微机械加速度计还包括多个反馈电容模块,多个所述反馈电容模块沿所述第一方向设置于所述惯性质量模块上; 多个检测锚点,沿所述第二方向设置于所述惯性质量模块的两侧;以及 多个反馈锚点,沿所述第一方向设置于所述惯性质量模块的两侧。
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