北京北方华创微电子装备有限公司韦鑫锋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利射频馈入装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480603B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411687175.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权射频馈入装置及半导体工艺设备是由韦鑫锋;李补忠;贾士亮;简师节;江伟设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频馈入装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种射频馈入装置及半导体工艺设备，涉及光伏、半导体领域。一种射频馈入装置，用于向承载舟馈入射频功率，所述承载舟包括交替叠置的射频电极板和接地电极板，所述射频馈入装置包括射频功率分配件、多个射频馈入件和接地组件；所述射频功率分配件用于为所述多个射频馈入件分配射频功率；每个所述射频馈入件具有射频输入端和射频输出端，所述射频输入端用于接收射频功率对应的射频信号，所述射频输出端用于与至少一个所述射频电极板连接；所述接地组件用于与所述接地电极板连接。本申请能够解决极板层间射频功率一致性无法得到保证等问题。
本发明授权射频馈入装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种射频馈入装置，用于向半导体工艺腔室5内的承载舟1馈入射频功率，其特征在于，所述承载舟1包括交替叠置的射频电极板12a和接地电极板12b，且所述射频电极板12a与所述接地电极板12b之间的多个层间距不完全相同； 所述射频馈入装置2包括射频功率分配件、多个射频馈入件21和接地组件22； 所述射频功率分配件至少用于根据多个所述层间距为所述多个射频馈入件21分配射频功率； 每个所述射频馈入件21具有射频输入端和射频输出端，所述射频输入端用于接收所述射频功率对应的射频信号，所述射频输出端用于与至少一个所述射频电极板12a连接； 所述接地组件22用于与所述接地电极板12b连接。
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