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龙图腾网获悉山东理工大学申请的专利一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117900916B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410306067.1，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法是由田业冰;苑祥昱;钱乘;武广义设计研发完成，并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及精密与超精密加工领域，针对现有晶圆边缘倒角后出现的尖角、割裂、划痕、毛刺等瑕疵，特别公开了一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法，所述装置包括机床、真空吸盘、磁场发生装置、介质循环装置。所述晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置通过改变三组磁极的排布方式，可在抛光区域内形成多种可控的耦合磁场，结合高性能磁性剪切增稠抛光介质，实现对不同尺寸和角度要求的晶圆边缘抛光。

本发明授权一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述装置包括机床1-1、真空吸盘1-2、磁场发生装置1-3、介质循环装置1-4，所述磁场发生装置1-3包括下磁极轮电机2-1、长传动轴2-2、空心齿轮轴2-3、左磁极轮磁极2-4、下磁极轮磁极2-5、右磁极轮磁极2-6、短传动轴2-7、右磁极轮电机2-8、右磁极轮2-9、下磁极轮2-10、左磁极轮2-11、左磁极轮电机2-12、外壳2-13，所述下磁极轮电机2-1通过长传动轴2-2利用花键键槽配合与下磁极轮2-10相连接，所述左磁极轮磁极2-4装在左磁极轮2-11内部的凹槽中，所述右磁极轮电机2-8通过短传动轴2-7利用花键键槽配合与右磁极轮2-9相连接，所述右磁极轮磁极2-6装在右磁极轮2-9内部的凹槽中，所述左磁极轮电机2-12使用齿轮与空心齿轮轴2-3的轮齿啮合，所述空心齿轮轴2-3与左磁极轮2-10连接，所述空心齿轮轴2-3通过内部嵌套滑动轴承的方式固定在长转动轴2-2上，所述下磁极轮磁极2-5装在下磁极轮2-10内部的凹槽中，所述介质循环装置1-4固定于下磁极轮2-10下方的中空位置，所述磁场发生装置1-3和介质循环装置1-4通过外壳2-13进行支撑，并将外壳2-13固定连接在机床1-1的运动平台上，晶圆1-5通过真空吸盘1-2装夹于机床1-1的主轴上。

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