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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种多方向源电容耦合等离子体源装置及其处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117295222B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311239664.9，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种多方向源电容耦合等离子体源装置及其处理方法是由欧阳文冲;吴征威;周凡;卢伏设计研发完成，并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多方向源电容耦合等离子体源装置及其处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多方向源电容耦合等离子体源装置及其处理方法，包括：真空腔体，所述真空腔体外部具有由石英玻璃材料制造形成包覆所述真空腔体的绝缘外壳，绝缘外壳内部中空且设有电容电极；电容电极，由电极材料按照圆形结构制成，每个方向的所述电容电极设置为多个并列等距排列，所述电容电极通过由导电金属形成的第一连接点与绝缘外壳外部连接；控制开关，其与所述第一连接点通过导线相连接，通过控制其断开与闭合实现最终放电的所述电容电极的控制。本发明通过对腔内的多方向内置电容设计，可实现腔内全方位的等离子体分布控制，并且每一侧的电容电极通过单独的射频电源激发，实现每一侧等离子体分布的独立控制。

本发明授权一种多方向源电容耦合等离子体源装置及其处理方法在权利要求书中公布了：1.一种多方向源电容耦合等离子体源装置，其特征在于，包括： 真空腔体1，所述真空腔体1外部具有由石英玻璃材料制造形成包覆所述真空腔体1的绝缘外壳，绝缘外壳内部中空且设有电容电极； 电容电极2，由电极材料按照圆形结构制成，每个方向的所述电容电极2设置为多个并列等距排列，所述电容电极2通过由导电金属形成的第一连接点1'-4'，7'-10'，13'-16'，19'-22'与绝缘外壳外部连接； 控制开关3，其与所述第一连接点1'-4'，7'-10'，13'-16'，19'-22'通过导线相连接，通过控制其断开与闭合实现最终放电的所述电容电极2的控制； 真空泵4，其用于对所述真空腔体1抽气实现高真空度； 两个导气管5，为中空管道结构，两个所述导气管5的一端均与所述真空腔体1连接，其中一个所述导气管5另一端与所述真空泵4相连接； 真空计6，其通过与相应的所述导气管5一侧连接与所述真空腔体1的真空度测量； 气瓶7，其通过与相应的所述导气管5一侧连接对所述真空腔体1充入气体作为电容耦合等离子体装置放电的工作气体； 射频电源8，其通过所述控制开关3以及第一连接点1'-4'，7'-10'，13'-16'，19'-22'与多个所述电容电极2连接，接地端与所述真空腔体1的第二连接点5'-6'，11'-12'，17'-18'，23'-24'相连接，从而对真空腔体内充入的工作气体电离，产生等离子体； 所述第一连接点1'-4'，7'-10'，13'-16'，19'-22'和所述第二连接点5'-6'，11'-12'，17'-18'，23'-24'均采用导电金属制成，并为圆形结构，其中，所述第一连接点1'-4'，7'-10'，13'-16'，19'-22'通过连接部件与所述控制开关3连接； 所述连接部件包括开设在所述第一连接点上的外螺纹9和与所述第一连接点可拆卸连接的旋紧环10，所述旋紧环10内圈开设内螺纹11，内螺纹11与外螺纹9相互配合可使得所述旋紧环10与所述第一连接点螺纹连接，所述第一连接点一端开设滑槽12，所述滑槽12内滑动连接两个对称的夹板13，所述夹板13采用导电金属制成，所述滑槽12内固定连接矩形块19，所述矩形块19贯穿两个所述夹板13，在所述矩形块19上套设压簧14，所述压簧14的两端分别与两个所述夹板13连接，使得所述夹板13远离中心，在所述夹板13远离中心的两个边缘设置为圆角结构，在所述夹板13远离中心的两个侧面上固定弧形块15，在所述夹板13靠近中心的两个侧面固定多个半圆柱体形状的橡胶条16，两处的所述橡胶条16交错设置，在所述旋紧环10内壁固定紧固弧板18，随着所述旋紧环10的旋转，所述紧固弧板18同步旋转并抵触弧形块15，使得两个夹板13相互靠近，所述旋紧环10外壁开设两个槽体20，所述槽体20内固定连接固定杆21和滑动连接滑块22，所述固定杆21贯穿相应的所述滑块22，所述滑块22的一侧固定连接绝缘保护环23，在所述固定杆21的外壁套设弹簧24，所述弹簧24的两端分别与槽体20和滑块22连接。

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