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宁波工程学院;捷信(浙江)通信技术有限公司周裕鸿获国家专利权

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龙图腾网获悉宁波工程学院;捷信(浙江)通信技术有限公司申请的专利一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117252837B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311236979.8,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备是由周裕鸿;毛方迪;章文才;徐力;邬富存设计研发完成,并于2023-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备。本申请首先依据测试目标中任一形状的少量的满足要求的检测点和对应检测点上的测试痕迹生成所述形状的基准信息,然后通过所述形状的基准信息对晶圆中所述形状的所有检测点和测试痕迹进行分析,从中筛选出满足基准信息的检测点信息和测试痕迹信息作为准备数据。其中,生成的基准信息中不仅包括了用于判断检测点的第一长宽比值范围和用于判断测试痕迹的第二长宽比值范围,而且还包括检测点与测试痕迹的位置关系范围。通过各种约束条件中的范围作为分析依据,能够有效避免误判和漏判,提高了分析精度。通过上述方法,节省了数据处理的时间,提高了测试效率,解决了人工处理的低效问题。

本发明授权一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆测试的数据处理方法,其特征在于,包括: 在对晶圆中的任一测试目标试扎针后,通过图像装置获取第一图像,其中,所述第一图像与预设平面坐标系中所述图像装置拍照的第一区域相匹配; 基于所述第一区域的第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息,其中,所述第一检测点满足预设第一检测条件,所述第一测试痕迹满足预设第二检测条件; 基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息; 基于所述基准信息对所述晶圆中所述形状的所有第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析; 当任一第二检测点的第二检测信息和对应所述第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息满足所述基准信息时,确定所述第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息为准备数据; 每个第一检测点的第一检测信息包括预设平面坐标系中对应第一检测点所占检测点区域的检测点区域位置和对应第一检测点的检测点区域的第一长宽比值; 每个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息包括:预设平面坐标系中对应第一测试痕迹所占痕迹区域的痕迹区域位置和对应第一测试痕迹的痕迹区域的第二长宽比值; 所述基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息,包括: 基于所述若干个第一检测点的检测点区域位置和所述若干个第一测试痕迹的痕迹区域位置获得所述基准信息中的位置关系范围; 基于所述若干个第一检测点的第一长宽比值获得所述基准信息中的第一长宽比值范围; 基于所述若干个第一测试痕迹的第二长宽比值获得所述基准信息中的第二长宽比值范围; 所述基于所述若干个第一检测点的检测点区域位置和所述若干个第一测试痕迹的痕迹区域位置获得所述基准信息中的位置关系范围,包括: 基于任一第一检测点的检测点区域位置与任一第一测试痕迹的痕迹区域位置获得第一距离值以及第一直线与预设平面坐标系中预设坐标轴的第一夹角值,其中,所述第一直线穿过所述第一检测点的检测点区域位置和所述第一测试痕迹的痕迹区域位置; 基于所有第一距离值确定所述位置关系范围中的第一距离范围,以及,基于所有第一夹角值确定所述位置关系范围中的第一夹角范围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁波工程学院;捷信(浙江)通信技术有限公司,其通讯地址为:315211 浙江省宁波市江北区风华路201号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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