上海微电子装备(集团)股份有限公司欧阳鑫川获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利焦面测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117007286B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210458910.9，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权焦面测量装置是由欧阳鑫川设计研发完成，并于2022-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本焦面测量装置在说明书摘要公布了：本发明提供的焦面测量装置中，物镜将照明光束成像至待测物的表面，并透射出照明光束经待测物反射产生的反射光束；反射模块接收并传播反射光束，且对反射光束进行聚焦；调制器对反射模块施加调制以形成调制后的反射光束，并且输出调制源经过移相后的信号；光电探测器接收调制后的反射光束并输出光强信号；混频器对光强信号和调制源经过移相后的信号进行混频并输出混频信号；低通滤波器对混频信号进行过滤并输出解调信号；信号处理器检测解调信号，并根据解调信号的强度确定待测物的离焦量。该焦面测量装置只需要使用单个光电探测器就可以测量出待测物的离焦量，可以减小安装难度和减小暗电流对测量结果的影响。
本发明授权焦面测量装置在权利要求书中公布了：1.一种焦面测量装置，其特征在于，包括： 照明光源，用于提供照明光束； 物镜，用于将所述照明光束成像至待测物的表面，并透射出所述照明光束经所述待测物反射产生的反射光束； 反射模块，用于接收并传播所述反射光束，且对所述反射光束进行聚焦； 调制器，用于对所述反射模块施加调制以改变光路光程，使得经过的反射光束成为调制后的反射光束，并且所述调制器输出调制源经过移相后的信号； 光电探测器，用于接收所述反射模块输出的调制后的反射光束并输出光强信号； 混频器，用于接收所述光强信号和所述调制源经过移相后的信号，且对所述光强信号和所述调制源经过移相后的信号进行混频并输出混频信号； 低通滤波器，用于对所述混频信号进行过滤并输出解调信号；以及 信号处理器，用于检测所述解调信号，并根据所述解调信号的强度确定所述待测物的离焦量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励