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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利硅片对准标记的检测定位方法、系统、电子设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116935076B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210346590.8，技术领域涉及：G06V10/75；该发明授权硅片对准标记的检测定位方法、系统、电子设备及介质是由易兵;刘涛;周许超;张记晨;鲁阳;高贯义;王敬贤设计研发完成，并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片对准标记的检测定位方法、系统、电子设备及介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种硅片对准标记的检测定位方法，先建立知识库，所述知识库中具有若干种已知对准标记的第一检测图像的第一特征信息，然后获取待测对准标记的第二检测图像的第二特征信息，将所述第一特征信息与所述第二特征信息逐项进行相似性比对，并根据比对得到的若干所述已知对准标记获取所述待测对准标记在硅片上的位置信息，从而精确地找到所述已知对准标记，提高了待测对准标记的检测定位精度及效率。相应的，本发明还提供了一种硅片对准标记的检测定位系统、电子设备及非暂态计算机可读存储介质。

本发明授权硅片对准标记的检测定位方法、系统、电子设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种硅片对准标记的检测定位方法，其特征在于，包括： 提供一知识库，所述知识库中具有若干种已知对准标记的第一检测图像的第一特征信息，所述第一特征信息包括所述第一检测图像的像素特征统计信息及所述第一检测图像中所述已知对准标记所在感兴趣区域的像素特征信息； 提供待测对准标记的第二检测图像，并获取所述第二检测图像的第二特征信息，所述第二特征信息包括所述第二检测图像的像素特征统计信息及所述第二检测图像中所述待测对准标记所在感兴趣区域的像素特征信息；以及， 将所述第一特征信息与所述第二特征信息逐项进行相似性比对，并根据比对得到的若干所述已知对准标记获取所述待测对准标记在硅片上的位置信息； 将所述第一特征信息与所述第二特征信息逐项进行相似性比对，并根据比对得到的若干所述已知对准标记获取所述待测对准标记在硅片上的位置信息的步骤包括： 将所述第二检测图像的像素特征统计信息与所述已知对准标记的第一检测图像的像素特征统计信息逐一进行相似性比对，得到相似性的置信度大于第一设定值对应的若干候选的所述已知对准标记； 将所述第二检测图像中所述待测对准标记所在感兴趣区域的像素特征信息与候选的所述已知对准标记的第一检测图像中所述已知对准标记所在感兴趣区域的像素特征信息逐一进行相似性比对，得到相似性大于第二设定值对应的若干优选的所述已知对准标记；以及， 基于若干优选的所述已知对准标记获取所述待测对准标记在硅片上的位置信息。

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