艾感科技(广东)有限公司梁建汉获国家专利权
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龙图腾网获悉艾感科技(广东)有限公司申请的专利一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116930267B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310805825.X，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法是由梁建汉;周清峰;万竹桉设计研发完成，并于2023-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法，其中，该气体传感器包括堆叠设置的如下部分：基底，其具有隔热腔；支撑层，配置在基底上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；加热组件，配置在支撑层上，具有加热丝；介电层，配置在加热组件上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；检测电极，配置在介电层上；传感层，配置在检测电极上，沉积有气敏材料；其中，支撑层和介电层中的至少一个的聚热区具有沿堆叠方向贯通的若干通孔，且支撑层和介电层各自层内的通孔孔径以从聚热区向周侧延伸方向逐渐变化的方式配置。
本发明授权一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器，其特征在于，包括： 基底10，具有隔热腔； 支撑层20，配置在所述基底10上，并具有悬浮于所述隔热腔上方的聚热区； 加热组件30，配置在所述支撑层20上，包括加热丝302； 介电层40，配置在所述加热组件30上，并具有悬浮于所述隔热腔上方的聚热区； 检测电极50，配置在所述介电层40上； 传感层60，配置在所述检测电极50上，沉积有气敏材料70； 其中， 所述支撑层20和介电层40中的至少一个的聚热区具有沿堆叠方向形成的若干通孔，且所述支撑层20和介电层40各自层内的通孔孔径以从聚热区向周侧延伸方向逐渐变化的方式配置。
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