株式会社斯库林集团甲盛谆获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116774537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310228395.X，技术领域涉及：G03F7/30；该发明授权衬底处理装置是由甲盛谆设计研发完成，并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置。显影装置具备壳体、气流形成部及衬底保持装置。气流形成部在壳体的内部空间形成清洁的下降气流。显影装置还具备多个喷嘴及划分机构。多个喷嘴向由衬底保持装置保持的衬底供给处理液。划分机构在由衬底保持装置保持衬底的状态下，将壳体的内部空间划分为处理空间与非处理空间。处理空间是包含由衬底保持装置保持的衬底的空间。划分机构包含接住从衬底飞散的处理液的杯、具有喷嘴开口及多个贯通孔且设置于杯的上方的划分板、及覆盖喷嘴开口的罩构件。
本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 腔室，具有内部空间； 气流形成部，向所述腔室内供给气体形成下降气流； 衬底保持部，于所述腔室内保持衬底； 喷嘴，从由所述衬底保持部保持的衬底的上方的处理位置，向衬底供给处理液；及 划分机构，在由所述衬底保持部保持衬底的状态下，将所述腔室的内部空间划分为包含由所述衬底保持部保持的衬底的处理空间、与包围所述处理空间的至少一部分的非处理空间；且 所述划分机构包含： 处理杯，以俯视下包围由所述衬底保持部保持的衬底且侧视下与由所述衬底保持部保持的衬底重叠的方式设置，形成所述处理空间； 划分板，设置于所述处理杯上方的位置，具有将所述下降气流的一部分引导到所述处理空间的多个贯通孔、及以俯视下与所述处理位置重叠的方式形成的喷嘴开口；及 盖构件，构成为在由所述衬底保持部保持衬底且所述喷嘴位于所述处理位置的状态下，容许从所述喷嘴向衬底供给处理液且覆盖所述喷嘴开口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励