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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116684470B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310583991.X，技术领域涉及：H04L67/303；该发明授权配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置是由李云飞;刘丹设计研发完成，并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置，其中，该方法在配置文件的生成过程中，通过数据获取接口自动获取目标设备的上下位机参数，基于获取的上述参数，生成配置文件，在配置文件的生成过程中无需人工依次访问上位机参数和下位机参数的存储地址查阅各参数，解决了人工查询配置参数可能导致的疏漏或所需时间较长的问题，实现了降低配置文件的生成方法所需耗费的时间和人力成本的目的。另外，工厂端用户可以通过该方法获得配置文件中的配置参数，以全面了解目标设备的上位机和下位机的配置信息，并根据获悉的配置信息进行参数订阅等对于配置参数的配置操作，简化了工厂端用户对配置参数进行配置时的流程。

本发明授权配置文件的生成方法、装置、半导体工艺设备及总控装置在权利要求书中公布了：1.一种配置文件的生成方法，其特征在于，所述配置文件的生成方法用于生成目标设备的配置文件，所述目标设备包括上位机和下位机，所述配置文件的生成方法包括： 响应于生成指令，通过数据获取接口获取配置参数，所述配置参数包括上位机参数和下位机参数，所述上位机参数用于描述所述上位机的配置信息，所述下位机参数用于描述所述下位机的配置信息；所述数据获取接口包括通讯模块，所述通讯模块用于与所述上位机建立通信连接； 基于所述配置参数，生成配置文件； 所述通过数据获取接口获取配置参数包括： 通过所述数据获取接口与所述上位机的控制系统建立通信连接；所述上位机的控制系统用于控制所述下位机运行； 基于建立的通信连接以及预先配置的第一参数位置，从所述上位机中获取所述上位机参数；所述第一参数位置用于描述所述上位机参数在所述上位机中的存储位置； 将读取指令和预先配置的第二参数位置发送给所述上位机的控制系统，并接收所述上位机的控制系统返回的下位机参数，所述读取指令用于指示所述上位机的控制系统根据所述第二参数位置从所述下位机中获取所述下位机参数，并返回给所述读取指令的请求方；所述第二参数位置用于描述所述下位机参数在所述下位机中的存储位置。

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