成都辰显光电有限公司赖善春获国家专利权
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龙图腾网获悉成都辰显光电有限公司申请的专利物理气相沉积镀膜设备及镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116641024B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210138217.3，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权物理气相沉积镀膜设备及镀膜方法是由赖善春;张春柳;蒲宇飞;胡大千;曹桃;王燕锋;李亮;高明凯设计研发完成，并于2022-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本物理气相沉积镀膜设备及镀膜方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种物理气相沉积镀膜设备及镀膜方法，所述镀膜设备包括：承载平台，用于承载待镀膜元件，且所述待镀膜元件在所述承载平台上的第一正投影位于所述承载平台内；防护罩，位于所述承载平台承载所述待镀膜元件一侧，所述防护罩在所述承载平台上的第二正投影覆盖从所述第一正投影中露出的所述承载平台；其中，所述承载平台和所述防护罩具有导电性能，在所述待镀膜元件镀膜过程中，所述防护罩与所述承载平台绝缘设置；第一接地电路，用于在所述待镀膜元件镀膜结束并从所述承载平台移除后，与所述防护罩电连接。通过上述方式，本申请能够降低放电纹路出现的概率。
本发明授权物理气相沉积镀膜设备及镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种物理气相沉积镀膜设备，其特征在于，包括： 承载平台，用于承载待镀膜元件，且所述待镀膜元件在所述承载平台上的第一正投影位于所述承载平台内； 防护罩，位于所述承载平台承载所述待镀膜元件一侧，所述防护罩在所述承载平台上的第二正投影覆盖从所述第一正投影中露出的所述承载平台；其中，所述承载平台和所述防护罩具有导电性能，在所述待镀膜元件镀膜过程中，所述防护罩与所述承载平台绝缘设置； 第一接地电路，用于在所述待镀膜元件镀膜结束并从所述承载平台移除后，与所述防护罩电连接；其中，所述第一接地电路与所述承载平台电连接； 第一升降组件，与所述防护罩固定连接，用于驱动所述防护罩靠近或远离所述承载平台；其中，在所述待镀膜元件镀膜过程中，所述第一升降组件驱动所述防护罩远离所述承载平台；在所述待镀膜元件镀膜结束并从所述承载平台移除后，所述第一升降组件驱动所述防护罩靠近并与所述承载平台接触，所述防护罩通过所述承载平台与所述第一接地电路电连接。
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