江阴润玛电子材料股份有限公司戈烨铭获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴润玛电子材料股份有限公司申请的专利一种集成电路用钛钨腐蚀液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116575031B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310173364.9，技术领域涉及：C23F1/26；该发明授权一种集成电路用钛钨腐蚀液及其制备方法是由戈烨铭;何珂设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成电路用钛钨腐蚀液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种集成电路用钛钨腐蚀液及其制备方法，属于集成电路技术领域，由以下原料按重量份制备而成：硝酸5‑10份、硫酸3‑7份、磷酸15‑20份、聚多巴胺‑壳聚糖络合稳定剂3‑5份、表面活性剂1‑2份、水40‑50份。本发明中集成电路用钛钨腐蚀液能够有效的对钛钨合金进行刻蚀，有效分解钛钨表面的金属层，提高刻蚀效率，对金属层腐蚀均匀彻底、性能稳定、使用寿命长，腐蚀后残余液易冲洗无残留。
本发明授权一种集成电路用钛钨腐蚀液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种集成电路用钛钨腐蚀液，其特征在于，包括以下原料：硝酸、硫酸、磷酸、聚多巴胺-壳聚糖络合稳定剂、表面活性剂、水； 所述聚多巴胺-壳聚糖络合稳定剂为将壳聚糖溶于酸液后与多巴胺盐酸盐在催化剂的作用下形成聚多巴胺-壳聚糖共聚物后，在盐酸的作用下制得的聚多巴胺-壳聚糖络合稳定剂。
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