中国科学院物理研究所曹立新获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院物理研究所申请的专利磁性半导体薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116564706B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210100300.1,技术领域涉及:H01F41/20;该发明授权磁性半导体薄膜及其制备方法是由曹立新;陈浩锋;杨鑫;黄忠学;王瑞设计研发完成,并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁性半导体薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种制备磁性半导体薄膜的方法,其包括如下步骤:1将多晶磁性半导体靶材放入薄膜沉积腔室内;2将作为束源材料的K单质和Mn单质分别置于两个束源炉中;3清洗基片,然后将清洗后的基片安装在基片台上;4然后,加热所述基片台进而加热所述基片;5通过非反应性气体控制薄膜沉积腔室的气压为6‑100Pa,然后利用分子束辅助脉冲激光沉积方法在所述基片上外延生长薄膜;6待薄膜生长完成后,调整薄膜沉积腔室的气压并冷却基片,得到磁性半导体薄膜Ba1‑xKxZn1‑yMny2As2,其中,0.08x≤0.40,0.15y≤0.30。本发明还提供一种本发明的方法制得的磁性半导体薄膜。本发明的方法能够提高薄膜中K和Mn的含量,进而提高薄膜的顺磁‑铁磁转变温度。
本发明授权磁性半导体薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种制备磁性半导体薄膜的方法,其包括如下步骤: 1将多晶磁性半导体靶材放入薄膜沉积腔室内; 2将作为束源材料的K单质和Mn单质分别置于两个束源炉中; 3清洗基片,然后将清洗后的基片安装在基片台上; 4然后,加热所述基片台进而加热所述基片; 5通过非反应性气体控制薄膜沉积腔室的气压为6-100Pa,然后利用分子束辅助脉冲激光沉积方法在所述基片上外延生长薄膜; 6待薄膜生长完成后,调整薄膜沉积腔室的气压并冷却基片,得到磁性半导体薄膜Ba1-xKxZn1-yMny2As2,其中,0.08x≤0.40,0.15y≤0.30。
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