绍兴中芯集成电路制造股份有限公司张俊获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请的专利CP测试的监控方法、监控系统及可读存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116224198B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310304645.3,技术领域涉及:G01R35/00;该发明授权CP测试的监控方法、监控系统及可读存储介质是由张俊;何燕;孟宪伟设计研发完成,并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本CP测试的监控方法、监控系统及可读存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种CP测试的监控方法、监控系统及可读存储介质中,通过将当片晶圆按照CP测试的顺序分成多个区,获取每个区的合格晶粒的关键参数的均值和或标准差,以及,将各区间的合格晶粒的关键参数的均值偏差和或标准差偏差与底线值进行比较,若所述均值偏差和或所述标准差偏差大于所述底线值,则判定CP测试异常,由此能够在每片晶圆的CP测试后即可实现对CP测试的监控,从而可以实现对CP测试的及时监控。
本发明授权CP测试的监控方法、监控系统及可读存储介质在权利要求书中公布了:1.一种CP测试的监控方法,其特征在于,所述CP测试的监控方法包括: 将当片晶圆按照CP测试的顺序分成多个区; 获取每个区的合格晶粒的关键参数的均值和或标准差;以及, 将各区间的合格晶粒的关键参数的均值偏差和或标准差偏差与底线值进行比较,若所述均值偏差和或所述标准差偏差大于所述底线值,则判定CP测试异常。
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