中瀚新材料科技有限公司汪亚雄获国家专利权
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龙图腾网获悉中瀚新材料科技有限公司申请的专利一种极紫外非化学放大光刻胶及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116125747B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211643937.1，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种极紫外非化学放大光刻胶及其制备方法和应用是由汪亚雄;朱海凌;彭申来;赵云川设计研发完成，并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种极紫外非化学放大光刻胶及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种极紫外非化学放大光刻胶及其制备方法和应用，本发明所述极紫外非化学放大光刻胶具有优异指标及加工性能，满足EUV光刻领域用途。所述的极紫外非化学放大光刻胶具有制备简单、原料易得、操作难度小和适用性广的特点。
本发明授权一种极紫外非化学放大光刻胶及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种极紫外非化学放大光刻胶，其特征在于，所述极紫外非化学放大光刻胶为聚碳酸酯类树脂，所述聚碳酸酯类树脂具有式Ⅰ所示结构： 式Ⅰ； 其中，m和n独立地为1~200之间的整数； R1为第一单体形成的结构单元，第一单体为二元醇； R2为第二单体形成的结构单元，第二单体为如下结构： ； 其中，x为2~12的整数； 所述第一单体选自如下结构中的任意一种或至少两种的组合： 。
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