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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利光罩检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116068848B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111294569.X，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权光罩检测系统及方法是由梁学玉设计研发完成，并于2021-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本光罩检测系统及方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种光罩检测系统及方法，涉及半导体技术领域。该光罩检测系统包括：光罩厚度测量装置包括多个并排设置的传感器模组，用于测量光罩的厚度；条形码读取装置与光罩厚度测量装置正对设置，用于读取光罩上的条形码以获取光罩的厚度信息；校准装置包括校准棒和电磁铁，校准棒包括校准杆和校准底座，电磁铁与校准底座的底部对应设置，校准装置用于对条形码读取装置进行校准。本公开提供的光罩检测系统，通过设置光罩厚度测量装置，可以在光罩条形码读取异常或有新的光罩进入机台时，防止厚度异常的光罩进入机台，保护机台装置；通过设置校准装置，可以实现对条形码读取装置的自动校准，节省了机台更新时间，提高了校准率。

本发明授权光罩检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种光罩检测方法，其特征在于，包括： 提供光罩厚度测量装置，所述光罩厚度测量装置包括多个并排设置的传感器模组，利用所述传感器模组测量所述光罩的厚度，所述多个并排设置的传感器模组扫描的总长度大于或等于光罩的宽度； 提供条形码读取装置，利用所述条形码读取装置读取光罩上的条形码，并调用预先设定的数据库，判断所述条形码是否包含在所述数据库中； 提供校准装置，所述校准装置包括校准棒和电磁铁，所述校准棒包括校准杆和校准底座，所述电磁铁与所述校准底座的底部对应设置，利用所述校准装置在所述条形码读取装置读取条形码异常时自动校准所述条形码读取装置； 其中所述判断所述条形码是否包含在所述数据库中，包括：若所述数据库中不包含所述光罩的所述条形码，则启动所述光罩厚度测量装置，测量所述光罩的厚度，并得到所述光罩的最大厚度值；若所述光罩的最大厚度值小于预先设定的阈值，则允许所述光罩进入机台；若所述光罩的最大厚度值大于或等于预先设定的阈值，则禁止所述光罩进入所述机台，并对所述光罩设置权限信息，将所述光罩的条形码信息和所述权限信息更新至所述数据库中； 若所述条形码读取装置读取所述光罩上的条形码失败，则启动所述校准装置及启动光罩厚度测量装置；其中所述光罩厚度测量装置测量所述光罩的厚度，所述校准装置对所述条形码读取装置进行校准，校准后的条形码读取装置重新读取所述光罩上的条形码。

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