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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利一种探针卡分析仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116047247B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210480733.4，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种探针卡分析仪是由陈亮;刘世文;瞿高峰设计研发完成，并于2022-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种探针卡分析仪在说明书摘要公布了：本申请公开了一种探针卡分析仪，属于半导体设备领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构，机座位于翻转板下方设置有检测机构，检测机构包括用于与探针接触的传感器组，机座设置有用于控制检测机构沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构，检测机构连接于Z轴位移机构，机座位于翻转板上方设置有第一放大观察件，机座设置有用于供第一放大观察件滑移的调位机构。本申请具有提高探针的检测效率的作用。

本发明授权一种探针卡分析仪在权利要求书中公布了：1.一种探针卡分析仪，包括机座1，其特征在于：所述机座1设置有用于安装探针卡的翻转板2，所述机座1设置有用于使所述翻转板2升降的升降机构3和用于驱动所述翻转板2旋转的旋转机构4，所述机座1位于所述翻转板2下方设置有检测机构8，所述检测机构8包括用于与探针接触的传感器组，所述机座1设置有用于控制所述检测机构8沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构7，所述检测机构8连接于Z轴位移机构7，所述机座1位于所述翻转板2上方设置有第一放大观察件，所述机座1设置有用于供所述第一放大观察件滑移的调位机构15； 所述升降机构3包括设置于所述机座1的升降导轨31、滑移式连接于所述升降导轨31的升降板34以及用于驱动所述升降板34滑移的升降驱动件，所述旋转机构4连接于所述升降板34，所述翻转板2连接于所述旋转机构4； 所述旋转机构4包括连接于所述升降板34的旋转臂42和转动连接于所述旋转臂42的旋转座43，所述翻转板2连接于所述旋转座43； 所述旋转臂42开设有安装腔，所述旋转座43设有转动连接于所述安装腔的转动台431，所述旋转臂42连接有柔性垫块45，所述柔性垫块45设有销柱452，所述旋转座43开设有供所述销柱452滑移式连接的滑槽432，所述滑槽432沿所述旋转座43的转动路径设置，所述柔性垫块45开设有定位孔453，所述旋转座43设有卡接于所述定位孔453的定位球433； 所述旋转臂42设有两个且分别连接于所述翻转板2的相对两端，所述旋转座43背离所述旋转臂42的一面设有支撑台44，所述支撑台44连接于所述翻转板2背离探针卡的探针的一面； 所述检测机构8还包括检测安装座81，所述传感器组包括安装于所述检测安装座81的压力传感器84和电导传感器85，所述压力传感器84的触点和电导传感器85的触点均用于与探针接触，所述检测安装座81开设有供所述压力传感器84的触点和电导传感器85的触点伸出的检测孔82； 所述检测安装座81安装有第二放大观察件，所述第二放大观察件位于所述压力传感器84与电导传感器85之间，所述检测安装座81开设有观察孔83，所述第二放大观察件通过所述观察孔83观察探针的针尖； 所述Y轴位移机构包括沿Y轴滑动的底板6，所述Z轴位移机构7包括可转动式安装于所述底板6的调节丝杠72、用于驱动所述调节丝杠72转动的Z轴驱动件71、螺纹连接于所述调节丝杠72的调节移位块73、固定于所述底板6的调节滑轨、固定于所述调节移位块73且滑移式连接于所述调节滑轨的斜面支撑块74、固定于所述底板6的固定板75、沿Z轴方向滑移式连接于所述固定板75的升降滑块76以及固定于所述升降滑块76的斜面升降块77，所述斜面升降块77的斜面与斜面支撑块74的斜面滑移式连接，所述检测机构8安装于所述斜面升降块77； 还包括以下步骤：将探针卡固定安装于固定环21，且探针朝上，利用上显微镜14检查探针在探针卡上的扎针情况，检查完毕后移开上显微镜14，启动升降驱动件控制升降板34上升，带动翻转板2上升，然后控制翻转板2旋转180°，使探针朝下，再启动升降驱动件控制翻转板2下降至原位；在X轴位移机构和Y轴位移机构的带动下，下显微镜86、压力传感器84或者电导传感器85对准相应的探针，下显微镜86检测探针针尖部位的外观，然后在Z轴位移机构7的带动下，压力传感器84的触点或者电导传感器85的触点与探针接触，测得探针的力学性能或者导电性能。

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