细美事有限公司郑镇优获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116031177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211313020.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于处理基板的装置是由郑镇优;诸振模;李相旼;李暎熏;崔龙贤;任镕浚;吴承勋设计研发完成，并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明构思提供一种基板处理装置。该基板处理装置包括：壳体，其用于提供用于在其中处理基板的处理空间；支撑单元，其用于在处理空间中支撑基板；底部供应端口，其用于向处理空间供应工艺流体；和填充构件，其位于在处理空间中被支撑在支撑单元上的基板下方，其中填充构件形成面向底部供应端口的缓冲空间，并且在填充构件与壳体的内壁之间形成通道，该通道使引入缓冲空间中的工艺流体沿着基板的方向流动。
本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 壳体，所述壳体用于提供用于在其中处理基板的处理空间； 支撑单元，所述支撑单元用于在所述处理空间中支撑所述基板； 底部供应端口，所述底部供应端口用于向所述处理空间供应工艺流体；和 填充构件，所述填充构件位于在所述处理空间中被支撑在所述支撑单元上的所述基板下方， 其中所述填充构件形成面向所述底部供应端口的缓冲空间，并且， 在所述填充构件与所述壳体的内壁之间形成通道，所述通道使被引入所述缓冲空间中的所述工艺流体沿着所述基板的方向流动， 其中所述填充构件包括： 基部；和 突出部，所述突出部从所述基部的底表面沿向下方向延伸，并且在所述突出部的底端形成彼此间隔开的多个支撑突起，并且 其中沿着限定所述缓冲空间的所述突出部的内表面形成具有螺旋形形状的狭缝。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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