浜松光子学株式会社小柳津雅辉获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利激光加工装置及激光加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115555707B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210740951.7,技术领域涉及:B23K26/06;该发明授权激光加工装置及激光加工方法是由小柳津雅辉;关本祐介设计研发完成,并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光加工装置及激光加工方法在说明书摘要公布了:本发明的激光加工装置具备:支撑部,其支撑包括玻璃基板的对象物;光源,其出射激光;第一光学部,其将像散赋予激光;第二光学部,其在与激光的光轴垂直的第一方向上将激光聚光于第一区域,并且在与光轴及第一方向垂直的第二方向上将激光聚光于第一区域的下游侧的第二区域;移动部,其使第二光学部相对于支撑部相对地移动;摄像部,其获取改性区域的图像;控制部,其以将多个像散中的各个赋予激光的方式控制第一光学部,以在玻璃基板第一区域沿着第二方向相对地移动的方式控制移动部,并且将改性区域的图像与多个像散中的各个相关联地输出。
本发明授权激光加工装置及激光加工方法在权利要求书中公布了:1.一种激光加工装置,其中, 是通过向包括玻璃基板的对象物照射激光而在所述玻璃基板形成改性区域的激光加工装置, 所述激光加工装置具备: 支撑部,其支撑所述对象物; 光源,其出射所述激光; 第一光学部,其将像散赋予从所述光源出射的所述激光; 第二光学部,其将被所述第一光学部赋予了所述像散的所述激光在与所述激光的光轴垂直的第一方向上聚光于第一区域,并且在与所述光轴及所述第一方向垂直的第二方向上聚光于所述激光的行进方向上的所述第一区域的下游侧的第二区域; 移动部,其使所述第二光学部相对于所述支撑部相对地移动; 摄像部,其获取所述改性区域的图像;以及 控制部,其以作为所述像散将互不相同的多个像散中的各个赋予所述激光的方式控制所述第一光学部,以在所述玻璃基板所述第一区域沿着所述第二方向相对地移动的方式控制所述移动部,并且将由所述摄像部获取的所述改性区域的所述图像与所述多个像散中的各个相关联地输出。
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