苏州纳维科技有限公司陈吉湖获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州纳维科技有限公司申请的专利复合衬底的制备方法及复合衬底获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113643978B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110850235.X,技术领域涉及:H10D30/01;该发明授权复合衬底的制备方法及复合衬底是由陈吉湖;聂恒亮;苏克勇设计研发完成,并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本复合衬底的制备方法及复合衬底在说明书摘要公布了:本发明提供了一种复合衬底的制备方法及复合衬底,所述制备方法包括:提供一III‑V族单晶衬底,所述III‑V族单晶衬底具有III族极性面和V族极性面;在所述III‑V族单晶衬底的V族极性面上形成纳米线层。所述复合衬底包括:III‑V族单晶衬底,所述III‑V族单晶衬底具有III族极性面和V族极性面;纳米线层,所述纳米线层设置在所述III‑V族单晶衬底的V族极性面上。本发明通过在III‑V族单晶衬底的V族极性面上设置纳米线层,有效地缓解GaN衬底的N极性面欧姆接触差问题,降低接触电阻,提高N极性面欧姆接触的热稳定性,提高了器件的可靠性。
本发明授权复合衬底的制备方法及复合衬底在权利要求书中公布了:1.一种复合衬底的制备方法,其特征在于,包括: 提供一III-V族单晶衬底,所述III-V族单晶衬底具有III族极性面和V族极性面,所述III-V族单晶衬底采用非掺杂GaN材料,且所述III-V族单晶衬底的厚度为10μm-500μm; 在所述III-V族单晶衬底的V族极性面上直接形成纳米线层,所述纳米线层采用GaN材料,所述纳米线层用于将所述V族极性面上的欧姆接触转变成非极性面上的欧姆接触,从而降低所述V族极性面的接触电阻,所述纳米线层的表面蒸镀有金属电极。
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