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中清智图(南通)科技有限公司陈国栋获国家专利权

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龙图腾网获悉中清智图(南通)科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆自动传输装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205609U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521019160.0,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种半导体晶圆自动传输装置是由陈国栋;李勇清;李志锋设计研发完成,并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体晶圆自动传输装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体晶圆自动传输装置,包括搬运机械手机构及直线模组,所述直线模组动子处设置有晶圆载具,所述晶圆载具包括架体,所述架体侧壁开设弧口,所述弧口垂直均匀固接多个环形架,每个所述环形架底部设置有一个托底圆台,所述环形架为半圆环型形状;本实用新型中晶圆载具利用环形架承托晶圆边缘处,然后利用托底圆台承托晶圆背部,避免所有承托力集中在边缘,避免晶圆产生形变,并且托底圆台可以垂直移动,在搬运晶圆时,托底圆台处于低位,不会遮挡搬运臂将晶圆送入环形架位置,更加实用;搬运机械手机构可以通过第一伺服减速电机可以带动搬运臂转动,这样方便翻转晶圆,适配不同的传输需求。

本实用新型一种半导体晶圆自动传输装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆自动传输装置,包括搬运机械手机构1及直线模组2,其特征在于: 所述直线模组2动子处设置有晶圆载具3,所述晶圆载具3包括架体31,所述架体31侧壁开设弧口32,所述弧口32垂直均匀固接多个环形架33,每个所述环形架33底部设置有一个托底圆台34,所述环形架33为半圆环型形状,所述托底圆台34直径与环形架33内径一致,所述弧口32侧壁位于多个环形架33之间位置开设多个侧滑口35,每个所述侧滑口35内垂直滑动连接一个侧滑板36,所述侧滑板36端部固接载板37,所述载板37端部固接在托底圆台34底面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中清智图(南通)科技有限公司,其通讯地址为:226000 江苏省南通市高新技术产业开发区新世纪大道1188号江海智汇园A2楼313-314;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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