捷捷微电(南通)科技有限公司王启琛获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种离子注入机与半导体加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224204096U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520953157.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种离子注入机与半导体加工系统是由王启琛;李文斌;顾向东设计研发完成，并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入机与半导体加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种离子注入机与半导体加工系统，涉及离子注入机技术领域。该离子注入机包括腔体、排气管道、单向阀、隔离阀以及尾气处理装置，腔体通过排气管道与尾气处理装置连通，单向阀、隔离阀安装于排气管道上；其中，当离子注入机处于排气状态时，隔离阀导通；且在尾气处理装置的抽力大于或等于阈值时，单向阀导通；在尾气处理装置的抽力小于阈值时，单向阀关断；当离子注入机处于非排气状态时，隔离阀关断。本申请提供的离子注入机与半导体加工系统具有能够有效防止废气回流至腔体中的优点。
本实用新型一种离子注入机与半导体加工系统在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机，其特征在于，所述离子注入机包括腔体、排气管道、单向阀、隔离阀以及尾气处理装置，所述腔体通过排气管道与所述尾气处理装置连通，所述单向阀、所述隔离阀安装于所述排气管道上；其中， 当所述离子注入机处于排气状态时，所述隔离阀导通；且在所述尾气处理装置的抽力大于或等于阈值时，所述单向阀导通；在所述尾气处理装置的抽力小于阈值时，所述单向阀关断； 当所述离子注入机处于非排气状态时，所述隔离阀关断。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人捷捷微电(南通)科技有限公司，其通讯地址为：226000 江苏省南通市崇川区苏锡通科技产业园区井冈山路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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