深圳市恒运昌真空技术股份有限公司林伟群获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224203290U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520985855.8,技术领域涉及:G01R19/00;该实用新型基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器是由林伟群;章兵设计研发完成,并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器在说明书摘要公布了:本实用新型提出了一种基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器,基于电场耦合的电压采样电路包括:电压采样探头和可调分压单元;电压采样探头用于基于电压采样探头与射频匹配器采样点组成的分布电容,通过电场耦合获取射频匹配器输出的高频高压信号,并将获取的高频高压信号输出至可调分压单元;可调分压单元用于在被触发调整后,使用调整后的分压倍数,对高频高压信号进行分压,并输出分压后的高频高压信号至处理模块。本实用新型基于电压采样探头与射频匹配器采样点组成的分布电容,通过电场耦合获取输出的电压信号,实现具有电气隔离的电压采样,还通过调节可调分压单元的分压倍数,解决电压采样探头与射频匹配器安装调试时间长的问题。
本实用新型基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器在权利要求书中公布了:1.一种基于电场耦合的电压采样电路,其特征在于,所述基于电场耦合的电压采样电路应用于具有处理模块的射频匹配器,所述基于电场耦合的电压采样电路包括:电压采样探头和可调分压单元; 所述电压采样探头与射频匹配器采样点之间的间隔距离属于预设采样距离范围,所述电压采样探头还与所述可调分压单元的输入端连接;所述可调分压单元的输出端与处理模块连接; 所述电压采样探头,用于基于所述电压采样探头与所述射频匹配器采样点组成的分布电容,通过电场耦合获取所述射频匹配器输出的高频高压信号,并将获取的高频高压信号输出至所述可调分压单元; 所述可调分压单元,用于在被触发调整后,使用调整后的分压倍数,对所述高频高压信号进行分压,并输出分压后的高频高压信号至所述处理模块。
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