华通芯电(南昌)电子科技有限公司茆同海获国家专利权
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龙图腾网获悉华通芯电(南昌)电子科技有限公司申请的专利一种晶圆氧化速率测试结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224202984U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521024020.2，技术领域涉及：G01N17/00；该实用新型一种晶圆氧化速率测试结构是由茆同海;侯汉成;刘坤明;宋嘉铭设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆氧化速率测试结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆氧化速率测试结构，包括氧化炉、置于所述氧化炉不同温区处的多个承载部件、及设于所述承载部件上的待测试晶圆样品切片，所述承载部件上表面凹陷形成沉槽，所述待测试晶圆样品切片位于所述沉槽中。本实用新型中的晶圆氧化速率测试结构，可以仅用一片晶圆切成多个样品切片，以实现氧化炉不同温区处的晶圆氧化速率测试，多个样品切片可重复使用，大大降低了测试成本。
本实用新型一种晶圆氧化速率测试结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆氧化速率测试结构，其特征在于，包括氧化炉、置于所述氧化炉不同温区处的多个承载部件、及设于所述承载部件上的待测试晶圆样品切片，所述承载部件上表面凹陷形成沉槽，所述待测试晶圆样品切片位于所述沉槽中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华通芯电(南昌)电子科技有限公司，其通讯地址为：330000 江西省南昌市南昌县小蓝经济技术开发区小蓝中大道389号尚荣城产业园8栋6楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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