深圳阿珂法先进科技有限公司何丽获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳阿珂法先进科技有限公司申请的专利一种探头分离式静电卡盘光纤传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224202603U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520905478.2，技术领域涉及：G01K11/32；该实用新型一种探头分离式静电卡盘光纤传感器是由何丽;董永成设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种探头分离式静电卡盘光纤传感器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及温度监测技术领域，具体涉及一种探头分离式静电卡盘光纤传感器，包括：探头和传感器本体；探头设置于静电卡盘电极层的第一测温孔内，探头包括感温端和连接端，感温端深入所述第一测温孔内，连接端靠近第一测温孔开口处；传感器本体设置于静电卡盘基座的第二测温孔内，传感器本体包括前端和后端，探头的连接端与传感器本体的前端抵接，传感器本体后端延伸出第二测温孔外。本实用新型通过将探头嵌入静电卡盘电极层的第一测温孔内，传感器本体嵌入在静电卡盘基座的第二测温孔内，将静电卡盘电极层与静电卡盘基座合上后，两者抵接实现测温，不影响静电卡盘开合动作，也不因静电卡盘开合动作影响测温效果。
本实用新型一种探头分离式静电卡盘光纤传感器在权利要求书中公布了：1.一种探头分离式静电卡盘光纤传感器，其特征在于，包括：探头1和传感器本体2； 所述探头1设置于静电卡盘电极层的第一测温孔内，所述探头1包括感温端和连接端，所述感温端深入所述第一测温孔内，所述连接端靠近所述第一测温孔开口处； 所述传感器本体2设置于静电卡盘基座的第二测温孔内，所述传感器本体2包括前端和后端，所述探头1的连接端与所述传感器本体2的前端抵接，所述传感器本体2后端延伸出所述第二测温孔外。
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