优赛米半导体科技(无锡)有限公司顾辛酉获国家专利权
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龙图腾网获悉优赛米半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种半导体工艺腔多传感器集成检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224202501U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521293839.9，技术领域涉及：G01D21/02；该实用新型一种半导体工艺腔多传感器集成检测装置是由顾辛酉设计研发完成，并于2025-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺腔多传感器集成检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体工艺腔多传感器集成检测装置，涉及半导体检测技术领域，包括安装盒，所述安装盒的上表面螺栓固定连接有连接架，所述安装盒的两侧均连接有过滤板，所述安装盒的下底部开设有通槽，所述通槽的内侧壁滑动连接有安装架，所述安装架的内侧壁连接有蓄电组件，所述安装架的内侧壁连接有警示灯。本实用新型通过设置蓄电组件、传感器、警示灯和透明状安装盒，使得当传感器接受到温度、气体以及湿度等异常数据时，通过开启警示灯的方式来直接提醒工作人员，通过多传感器高度集成的方式，降低了检测装置的体积，占用更小的空间，使用起来更加方便。
本实用新型一种半导体工艺腔多传感器集成检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺腔多传感器集成检测装置，包括安装盒1，其特征在于：所述安装盒1的上表面螺栓固定连接有连接架26，所述安装盒1的两侧均连接有过滤板25，所述安装盒1的下底部开设有通槽2，所述通槽2的内侧壁滑动连接有安装架3，所述安装架3的内侧壁连接有蓄电组件4，所述安装架3的内侧壁连接有警示灯15，所述安装架3上螺栓固定连接有安装板5，所述安装板5上设有传感器6，所述安装板5上设置有夹持组件，所述安装架3的内底部设置有触发组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人优赛米半导体科技(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市梁溪区锡沪西路228号5楼5819室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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