长沙韶光芯材科技有限公司李弋舟获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙韶光芯材科技有限公司申请的专利一种连续式磁控溅射镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117802468B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410136488.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种连续式磁控溅射镀膜装置是由李弋舟设计研发完成，并于2024-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种连续式磁控溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜领域，具体涉及一种连续式磁控溅射镀膜装置。其包括机身和设置于机身上的镀膜机构，镀膜机构包括镀膜筒、基片台、溅射靶、挡板组件和传动组件，基片台设置于镀膜筒的内顶部，溅射靶设置于镀膜筒内部且沿镀膜筒的圆周方向均布，挡板组件包括顶部挡板和竖挡板，顶部挡板位于溅射靶上方，竖挡板设置至于相邻两组顶部挡板之间。本发明将每个溅射靶对应的顶部挡板分体为两个扇形板，使用时两个扇形板向两侧打开，保证扇形板的同一面只会溅射同一种靶材，以使同一个溅射靶在使用时其上的靶材总是溅射在相同的扇形板的相同表面，不同溅射靶之间溅射的扇形板的表面不重叠，防止镀膜层受到其他靶材污染，提高镀膜质量。
本发明授权一种连续式磁控溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种连续式磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括机身和设置于机身上的镀膜机构，镀膜机构包括镀膜筒、基片台、溅射靶、挡板组件和传动组件； 基片台同轴设置于镀膜筒的内顶部，基材安装于基片台； 溅射靶有三组，三组溅射靶设置于镀膜筒内部且沿镀膜筒的圆周方向均布，靶材安装于溅射靶，溅射靶位于基片台下方且上端倾斜指向镀膜筒的中心； 挡板组件包括顶部挡板和竖挡板，顶部挡板有三组且与溅射靶一一对应，顶部挡板位于溅射靶上方，竖挡板设置至于相邻两组顶部挡板之间，以将各个溅射靶分隔；每一组顶部挡板均包括两个扇形板，相邻两组顶部挡板中相邻的两个扇形板相对转动连接，初始所有的顶部挡板圆周围合且与溅射靶的轴线垂直； 传动组件配置成能够控制任意一组顶部挡板的两个扇形板朝上向两侧打开至与相邻的扇形板贴合。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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