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龙图腾网获悉蒙城繁枫真空科技有限公司申请的专利真空镀膜用线性金属蒸发源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117535630B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311678061.9，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权真空镀膜用线性金属蒸发源是由李剑飞;王超;郝文涛;苗伟伟;黄小卫设计研发完成，并于2023-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空镀膜用线性金属蒸发源在说明书摘要公布了：本发明涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜用线性金属蒸发源。本发明的线性金属蒸发源，包括：容器、喷嘴和坩埚，容器包括：金属外罩和内胆，金属外罩与内胆之间填充有隔热保温材料，内胆为加热器，内胆的容腔包括：一次蒸发区、增压区、二次蒸发区和升温区，喷嘴的喷口呈狭缝形，设置在内胆的顶部，坩埚设置在一次蒸发区内。本发明的线性金属蒸发源，设置在真空镀膜设备的真空腔室内，内胆在一次蒸发区对镀膜金属加热，使镀膜金属汽化蒸发达到饱和蒸汽压。镀膜金属蒸汽以饱和蒸汽压的状态输运至喷嘴处，喷嘴使镀膜金属蒸汽以线性射流的方式喷出，在镀膜工件上沉积，形成均匀致密的金属镀膜膜层，镀膜效率高，膜层质量好。

本发明授权真空镀膜用线性金属蒸发源在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜用线性金属蒸发源，其特征在于，包括：容器、喷嘴和坩埚； 所述容器包括：金属外罩和内胆； 所述内胆设置在所述金属外罩内，所述内胆与所述金属外罩之间填充有隔热保温材料； 所述内胆的容腔自下往上依次包括：一次蒸发区、增压区、二次蒸发区和升温区； 所述一次蒸发区的截面呈圆弧形，所述增压区的截面呈矩形； 所述一次蒸发区的顶端开口与所述增压区相连通，且所述增压区的宽度小于所述一次蒸发区的直径； 所述二次蒸发区的截面呈锥形； 所述二次蒸发区的锥形大端与所述增压区相连通； 所述升温区的截面呈矩形，与所述二次蒸发区的锥形小端相连通； 所述喷嘴呈锥形； 所述喷嘴的锥形大端与所述升温区相连通； 所述内胆的材质为石墨，所述一次蒸发区、所述增压区、所述二次蒸发区和所述升温区的内胆侧壁分别与外部电源电性连接，在容器内形成加热器，以分别给对应区域加热； 所述喷嘴的材质为石墨，且与外部电源电性连接； 所述喷嘴的喷口呈狭缝形，所述喷嘴设置在所述内胆的顶部，与所述升温区相连通； 所述坩埚设置在所述一次蒸发区内，用于放置镀膜金属原料； 所述线性金属蒸发源设置在真空镀膜设备的真空腔室内，所述一次蒸发区用于将镀膜金属加热至汽化，所述增压区、所述二次蒸发区和所述升温区用于使镀膜金属蒸汽以饱和蒸汽压状态输运至所述喷嘴处，所述喷嘴用于使镀膜金属蒸汽以线性射流喷出，以在镀膜工件上形成均匀致密的膜层。

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