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龙图腾网获悉山东华达新材料有限公司申请的专利一种外延衬底用等静压石墨碳化钽涂层沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117259063B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311253669.7，技术领域涉及：B05B13/02；该发明授权一种外延衬底用等静压石墨碳化钽涂层沉积设备是由赵光燮;鞠德胜;王敏;袁海云;李炳坤设计研发完成，并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外延衬底用等静压石墨碳化钽涂层沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种外延衬底用等静压石墨碳化钽涂层沉积设备，具体涉及涂层沉积设备技术领域，包括用于支撑的底座，所述底座的顶部设置有聚拢沉积组件，所述聚拢沉积组件包括用于支撑的连接板，所述连接板设置在底座的顶部。本发明通过各个结构的相应配合使用，两个第一加热板相互靠近对物料最先进行限位，避免出现后续物料在进行涂层沉积时出现移位现象，物料能够聚拢在第一加热板和第二加热板之间，以确保在涂层在进行沉积时能够聚拢在第一加热板、第二加热板和物料之间，提高沉积效率，再通过第二导板和第一导板所结合而成的梯形截面，能够持续使得涂层向下聚拢，使其密度更高。

本发明授权一种外延衬底用等静压石墨碳化钽涂层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种外延衬底用等静压石墨碳化钽涂层沉积设备，包括用于支撑的底座1，其特征在于：所述底座1的顶部设置有聚拢沉积组件； 所述聚拢沉积组件包括； 用于支撑的连接板101，所述连接板101设置在底座1的顶部； 用于错位的框口102，所述框口102设置在连接板101上； 用于错位的过渡口103，所述过渡口103开设在框口102的内壁两侧； 两个用于导向的第一导板2，且各所述第一导板2分别设置在框口102的内壁两侧，两个所述框口102； 两个用于导向的第二导板3，且各所述第二导板3分别设置在相应的过渡口103内； 其中，各所述第二导板3和第一导板2的竖截面形状结合成梯形； 所述聚拢沉积组件还包括； 两个可以对向位移的第一加热板104，且各所述第一加热板104分别设置在相应的第一导板2底部； 两个可以对向的位移的第二加热板105，且各所述第二加热板105分别设置在相应的第二导板3底部； 其中，各所述第一加热板104和第二加热板105的横截面形状结合成矩形，且各所述第一加热板104和第二加热板105的外侧分别设置有可以形变的密封套件； 若干个用于支撑的第二轴销连接杆301，且各所述第二轴销连接杆301每两个为一组分别设在相应的第二导板3一侧，且各所述第二轴销连接杆301的一端均延伸至连接板101上并与连接板101可拆卸连接； 两个角度可调的顶板302，且各所述顶板302分别设置在相应的两个第二轴销连接杆301之间并与第二轴销连接杆301通过轴销活动连接； 两个用于驱动的第二液压杆306，且各所述第二液压杆306分别设置在相应的竖板305一侧； 第二液压杆306的输出端驱动顶板302沿着顶板302与第二轴销连接杆301连接处的轴心点旋转，顶板302倾斜时会带动第二导板3发生位移并与第二加热板105相接触。

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