超能高新材料股份有限公司魏汝超获国家专利权
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龙图腾网获悉超能高新材料股份有限公司申请的专利基板的检测方法及其检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117232415B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210642026.0,技术领域涉及:G01B11/16;该发明授权基板的检测方法及其检测装置是由魏汝超;陈东林;廖启凯设计研发完成,并于2022-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板的检测方法及其检测装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种基板的检测方法及其检测装置。该检测装置包含有底板、测距单元以及处理单元,且该底板具有吸引机构。其中,该检测装置具有吸引检测态样以及直接检测态样,吸引检测态样为吸引机构启动并吸引放置于该底板上的该基板,并通过处理单元计算基板的吸引厚度,直接检测态样为吸引机构关闭以停止吸引放置于底板上的基板,并通过处理单元计算基板的直接厚度,最后,处理单元根据直接厚度以及吸引厚度计算产生基板的翘曲值,该翘曲值用于表示基板的翘曲程度。藉此,本发明的检测装置搭配检测方法,消除基板厚薄差对于翘曲程度检测的影响,具有广泛适用性及高度准确性。
本发明授权基板的检测方法及其检测装置在权利要求书中公布了:1.一种基板的检测方法,其应用于利用检测装置检基板的环境中,所述检测装置包含有底板、测距单元以及处理单元,所述底板具有吸引机构以及吸引表面,且所述底板耦接于所述测距单元,所述处理单元耦接于所述测距单元,所述检测方法包含下列步骤: 准备步骤,将所述基板放置于所述底板的所述吸引表面上; 吸引步骤,所述吸引机构启动并吸引放置于所述底板上的所述基板,使得所述基板与所述吸引表面相互平行; 吸引测距步骤,所述测距单元启动以感测所述测距单元与所述基板之间的距离,所述测距单元产生至少一吸引测距信号传输至所述处理单元; 吸引厚度计算步骤,所述处理单元根据所述吸引测距信号计算所述基板的吸引厚度; 关闭吸引步骤,所述吸引机构关闭以停止吸引放置于所述底板上的所述基板;以及 翘曲值计算步骤,所述处理单元根据直接厚度以及所述吸引厚度计算产生所述基板的翘曲值,所述翘曲值用于表示所述基板的翘曲程度; 其中,于所述吸引步骤之前或所述关闭吸引步骤之后,所述检测方法进一步包含有: 直接测距步骤,所述测距单元启动以感测所述测距单元与所述基板之间的距离,所述测距单元产生至少一直接测距信号传输至所述处理单元;以及 直接厚度计算步骤,所述处理单元根据所述直接测距信号计算所述基板的所述直接厚度。
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