电子科技大学钟智勇获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种基于周期波纹衬底上磁性薄膜的平面霍尔传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116381579B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310249538.5，技术领域涉及：G01R33/07；该发明授权一种基于周期波纹衬底上磁性薄膜的平面霍尔传感器是由钟智勇;黄浩洋;徐栩;金立川;唐晓莉;张怀武设计研发完成，并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于周期波纹衬底上磁性薄膜的平面霍尔传感器在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于周期波纹衬底上磁性薄膜的平面霍尔传感器，属于磁性器件技术领域，包括自下而上依次的周期性波纹衬底、缓冲层、磁性薄膜层、保护层和导电金属层，导电金属层包括沿垂直于波纹方向设置的两个检测平面霍尔信号导电金属层，以及沿平行于波纹方向设置的两个外接电流导电金属层。本发明通过在周期性波纹衬底上沉积磁性薄膜层，得到周期性波纹结构的磁性薄膜，实现图案化磁性薄膜诱导单轴各向异性；相较于传统形状诱导单轴磁各向异性的平面霍尔传感器，本发明无需精确刻蚀等工艺要求，仅通过调整周期性波纹衬底的波纹周期与波纹幅度，制备工艺更便捷，制作成本更低，平面霍尔传感器性能调控也更容易。
本发明授权一种基于周期波纹衬底上磁性薄膜的平面霍尔传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于周期波纹衬底上磁性薄膜的平面霍尔传感器，其特征在于，包括自下而上依次设置的周期性波纹衬底1、缓冲层2、磁性薄膜层3、保护层4和导电金属层，所述导电金属层包括沿垂直于波纹方向设置的两个检测平面霍尔信号导电金属层5，以及沿平行于波纹方向设置的两个外接电流导电金属层6；通过对两个外接电流导电金属层6施加电流，两个检测平面霍尔信号导电金属层5检测信号，实现平面霍尔传感器的功能，用于探测垂直于波纹方向的磁场大小与磁场方向变化； 所述周期性波纹衬底1的波纹周期为10nm~1μm，波纹幅度为10nm~100nm； 通过在周期性波纹衬底1上沉积磁性薄膜层3，得到周期性波纹结构的磁性薄膜，实现图案化磁性薄膜诱导单轴各向异性；通过调整周期性波纹衬底1的波纹周期与波纹幅度，即可图案化磁性薄膜。
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