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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至微半导体有限公司申请的专利一种晶圆盒输送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116364618B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310108712.4，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆盒输送装置是由邓信甫;孔昊;卢证凯;陈新来;杨复设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盒输送装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆盒输送装置，包括呈U型设置的备载区、中转区、导片区及晶圆侦测模组；晶圆侦测模组，包括光学侦测单元和波段侦测单元，光学侦测单元包括：至少一组接收集成组件和光源集成组件，每一组接收集成组件和光源集成组件分别位于晶圆盒承载位底部、对应镂空位置的两侧，且所述接收集成组件整体升降移动和或旋转摆动，以接收并转向传导光线，所述光源集成组件整体升降移动和或旋转摆动，以集成所述接收集成组件传导的光线，本发明提供的一种晶圆盒输送装置可对晶圆盒内晶圆进行的光学扫描，反应晶圆的实时状态。

本发明授权一种晶圆盒输送装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒输送装置，其特征在于，包括呈U型设置的备载区1、中转区2、导片区3及晶圆侦测模组； 所述备载区1设置有入货传递平台11，所述入货传递平台11的一端连接晶圆盒入货窗口，且设置若干个中间镂空的晶圆盒承载位12，且若干晶圆盒承载位12两侧开设转移通道，转移通道连通镂空位置贯穿入货传递平台11，用于单入或双入晶圆盒的承载和传递，提供晶圆盒的临时负载； 所述中转区2设置有衔接平台21，衔接所述入货传递平台11的另一端，所述衔接平台21在备载区1和所述导片区3滑动，将入货传递平台11上的晶圆盒中转至导片区3； 所述晶圆侦测模组，包括光学侦测单元和波段侦测单元， 其中，所述光学侦测单元包括：至少一组接收集成组件4和光源集成组件5，每一组所述接收集成组件4和光源集成组件5分别位于晶圆盒承载位12底部、对应镂空位置的两侧，且所述接收集成组件4整体升降移动和或旋转摆动，以接收并转向传导光线，所述光源集成组件5整体升降移动和或旋转摆动，以集成所述接收集成组件4传导的光线，并通过所述镂空位置对晶圆盒内晶圆进行的光学扫描，反应晶圆的实时状态； 所述波段侦测单元至少设置在晶圆传送的X轴、Y轴及Z轴的一个方向上，且向晶圆发射毫米波进行波谱扫描，借由毫米波的传送和接收反馈晶圆的空间位置。

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