广州晶优电子科技有限公司欧阳华获国家专利权
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龙图腾网获悉广州晶优电子科技有限公司申请的专利一种离子枪的保护开关获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115662864B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211406971.7，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权一种离子枪的保护开关是由欧阳华;欧阳晟;曹锋;陈炀设计研发完成，并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子枪的保护开关在说明书摘要公布了：一种离子枪的保护开关，涉及刻蚀设备领域。沿发射口外侧设有导流板和底板，导流板中部设有若干分流通道，设有对应分流通道的反应开关，导流板和底板包饶于发射口的外侧，用于实现对发射口上离子波的集中发射。本发明进一步增加了反应开关，由于反应开关是对应在发射通道上的，即对于每个或每组发射通道的离子光源的轰击时间要素是可以进一步被编辑控制的，使得同一刻蚀腔室内进行的刻蚀反应是可以同时兼容不同的反应时间段，提高了设备的生产效率。
本发明授权一种离子枪的保护开关在权利要求书中公布了：1.一种离子枪的保护开关，所述保护开关安装于离子枪的发射口上，其特征在于， 沿发射口外侧依次设有底板、导流板、基板和反应开关，底板设有一个发射开口，发射开口内侧包绕发射口的外侧，导流板的长度和宽度均大于发射开口，导流板中部设有若干分流通道，所述底板和所述导流板的材质为石墨，沿基板宽度方向设有若干列的发射通孔，反应开关设于发射通孔的上方，导流板和底板包绕于发射口的外侧，用于实现对发射口上离子波的集中发射，发射通孔直径小于分流通道的直径； 每列的发射通孔均设有一个反应开关； 还设有控制系统，控制系统连接反应开关，以使每个反应开关独立控制一列发射通孔的打开或关闭。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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