江苏鸣志微电子科技有限公司路平获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鸣志微电子科技有限公司申请的专利一种用于双面曝光机光刻板调平结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190393U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521330802.9，技术领域涉及：G03F9/00；该实用新型一种用于双面曝光机光刻板调平结构是由路平;王焕之;殷大晨设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于双面曝光机光刻板调平结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及曝光机技术领域，尤其为一种用于双面曝光机光刻板调平结构，包括调平机构并用于光刻板调平，调平机构包括：移动组件，设置在曝光机上并用于粗调位置；微调组件，包括设置在移动组件上的底座，底座上设置有承载部件并用于固定光刻板治具，底座顶部外缘固定有六个下万向节，下万向节上枢接有电动支腿，电动支腿的输出端枢接有上万向节；所述承载部件包括设置在底座上方的承载平台，且上万向节固定在承载平台底部，承载平台内部开设有安装腔，安装腔内部四个角均开设有安装耳；通过六自由度电动支腿协同控制实现光刻板纳米级精密调平，万向节连接确保运动灵活性；模块化安装腔与四角安装耳设计支持快速更换治具。
本实用新型一种用于双面曝光机光刻板调平结构在权利要求书中公布了：1.一种用于双面曝光机光刻板调平结构，其特征在于：包括调平机构1并用于光刻板调平，调平机构1包括： 移动组件11，设置在曝光机上并用于粗调位置； 微调组件12，包括设置在移动组件11上的底座121，底座121上设置有承载部件122并用于固定光刻板治具，底座121顶部外缘固定有六个下万向节123，下万向节123上枢接有电动支腿124，电动支腿124的输出端枢接有上万向节125。
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