沈阳芯源微电子设备股份有限公司王永洁获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190392U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520930478.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统是由王永洁;王翰阳;孙元斌;韩禹;徐庆阳设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统，其中，用于晶圆曝光的照明装置包括：光源组件，用于提供紫外光。光纤束，具有光接收端和呈矩形的光出射端，所述光接收端与所述光源组件连接，用于接收紫外光；镜头，与所述光出射端连接，用于将紫外光照射在晶圆的边缘。本实用新型提供的照明装置，光纤束由多根光纤采用捆绑、粘接的方式组合成束，并且将光纤束的光接收端排布成圆形，用来尽可能多的收集光，以及将光纤束的光出射端排布成矩形，这样利用光纤束的排布性，将光束接近无损的从圆形整形到矩形，减少了后续光束整形过程光能的损失，提高了光束利用率。
本实用新型一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆曝光的照明装置，其特征在于，包括： 光源组件，用于提供紫外光； 光纤束，具有光接收端和呈矩形的光出射端，所述光接收端与所述光源组件连接，用于接收紫外光； 镜头，与所述光出射端连接，用于将紫外光照射在晶圆的边缘。
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