常州大学谭常乐获国家专利权
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龙图腾网获悉常州大学申请的专利一种光刻胶旋涂清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190391U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521076259.4，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种光刻胶旋涂清洁装置是由谭常乐;唐昕怡;李宁;沙翔;刁东起;张昊;曾芳磊;杨国泉;王思诺;范熙莀设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶旋涂清洁装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光刻胶旋涂清洁装置。包括对基片涂胶的旋涂单元，所述旋涂单元的正下方设置有工作台，所述工作台的上表面安装有带动基片升降和转动的承载单元，所述承载单元外周有围合而成的挡板，所述挡板与工作台的上表面固定连接且形成具有开口向上的溶解池，所述溶解池内注有对基片侧壁残留胶水进行溶解的溶解液，所述溶解池的底部连通有活性炭吸附柱，所述活性炭吸附柱的一端连通有循环单元，所述循环单元的出液端与基片对齐，使处理过的溶解液对基片二次清洁。本申请的一种光刻胶旋涂清洁装置解决了旋涂后光刻胶会残留在基片侧面难以清理的技术问题。
本实用新型一种光刻胶旋涂清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶旋涂清洁装置，其特征在于：包括对基片6涂胶的旋涂单元1，所述旋涂单元1的正下方设置有工作台2，所述工作台2的上表面安装有带动基片6升降和转动的承载单元，所述承载单元外周有围合而成的挡板3，所述挡板3与工作台2的上表面固定连接且形成具有开口向上的溶解池31，所述溶解池31内注有对基片6侧壁残留胶水进行溶解的溶解液，所述溶解池31的底部连通有活性炭吸附柱7，所述活性炭吸附柱7的一端连通有循环单元，所述循环单元的出液端与基片6对齐，使处理过的溶解液对基片6二次清洁。
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