广立微(上海)技术有限公司牛艳宁获国家专利权
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龙图腾网获悉广立微(上海)技术有限公司申请的专利一种用于检测连接结构尺寸的测试结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224189153U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520911671.7,技术领域涉及:G01B7/00;该实用新型一种用于检测连接结构尺寸的测试结构是由牛艳宁设计研发完成,并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于检测连接结构尺寸的测试结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于检测连接结构尺寸的测试结构,包括多个测试单元;测试单元包括第一金属线、通孔和第二金属线;第一金属线和第二金属线分属于不同的金属层,第一金属线和第二金属线通过通孔连接;测试单元基于预设的偏移值设置;其中,偏移值包括通孔和或第一金属线,基于第二金属线上的基准点,沿着预设方向移动产生的偏移距离;测试结构的多个测试单元中包括基于不同偏移值设置的测试单元。本申请通过对测试结构进行电性测试实现对连接结构尺寸的检测,易于实现且不会造成图形的损伤,有利于及时调整半导体工艺和良率提升。
本实用新型一种用于检测连接结构尺寸的测试结构在权利要求书中公布了:1.一种用于检测连接结构尺寸的测试结构,其特征在于,包括多个测试单元; 所述测试单元包括第一金属线、通孔和第二金属线; 所述第一金属线和第二金属线分属于不同的金属层,所述第一金属线和所述第二金属线通过所述通孔连接; 所述测试单元基于预设的偏移值设置; 其中,所述偏移值包括所述通孔和或所述第一金属线,基于所述第二金属线上的基准点,沿着预设方向移动产生的偏移距离; 所述测试结构的多个测试单元中包括基于不同偏移值设置的测试单元。
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