上海微世半导体有限公司丁波获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微世半导体有限公司申请的专利一种输送臂炉门密封缓冲结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224188987U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520929888.0，技术领域涉及：F27D1/18；该实用新型一种输送臂炉门密封缓冲结构是由丁波;陈瀚;杭海燕;谷卫东;魏方超;张伟;智朋;康夏雷设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种输送臂炉门密封缓冲结构在说明书摘要公布了：一种输送臂炉门密封缓冲结构，包括炉门、动弹簧座、静弹簧座、第一弹簧和定位销，炉门与化学气相沉积炉的炉口适配，炉门、动弹簧座、第一弹簧和静弹簧座由前至后依次布置，且均被输送臂的臂体的后部穿过，动弹簧座抵于炉门的后侧，静弹簧座与臂体的后部固定，第一弹簧的两端分别与动弹簧座和静弹簧座连接，定位销与臂体平行，且位于炉门的后侧，该定位销包括静杆和动杆，静杆通过连接座与臂体的后部固定，其前端面上形成轴向后延伸的滑孔，所述滑孔内设有第二弹簧，动杆的后端滑动设于滑孔中，且与静杆键槽配合，其前端与炉门连接。本实用新型可以在输送臂滞留炉膛内的情况下对CVD炉进行密封，从而满足新工艺的要求。
本实用新型一种输送臂炉门密封缓冲结构在权利要求书中公布了：1.一种输送臂炉门密封缓冲结构，其特征在于，包括炉门、动弹簧座、静弹簧座、第一弹簧和定位销，所述炉门与化学气相沉积炉的炉口适配，所述炉门、动弹簧座、第一弹簧和静弹簧座由前至后依次布置，且均被所述输送臂的臂体的后部穿过，所述动弹簧座抵于所述炉门的后侧，所述静弹簧座与所述臂体的后部固定，所述第一弹簧的两端分别与动弹簧座和静弹簧座连接，所述定位销与所述臂体平行，且位于所述炉门的后侧，该定位销包括静杆和动杆，所述静杆通过连接座与所述臂体的后部固定，其前端面上形成轴向后延伸的滑孔，所述滑孔内设有第二弹簧，所述动杆的后端滑动设于所述滑孔中，且与所述静杆键槽配合，其前端与炉门连接。
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