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龙图腾网获悉天津高能时代水处理科技有限公司;北京高能时代环境技术股份有限公司申请的专利一种半导体行业TMAH废液回收连续运行的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224185885U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521089710.6，技术领域涉及：C02F1/00；该实用新型一种半导体行业TMAH废液回收连续运行的系统是由还道远;贾永强;赵颖超;王伟龙;冯靖轩;刘寅阁;朱倩;李骎;凌锦明设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体行业TMAH废液回收连续运行的系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体行业TMAH废液回收连续运行的系统，涉及工业废水处理技术领域，包括依次连接的初步提纯子系统和深度提纯子系统；初步提纯子系统包括依次连接的一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器；深度提纯子系统包括原料罐A、B，原料罐A、B进料口均与初步提纯子系统出料口连接，出料口均连接电渗析膜堆，电渗析膜堆的TMAH提纯液输出口连接浓度适配子系统，废液输出口分别连接原料罐A、B的回流口及TMAH废液罐；TMAH废液经初步提纯子系统去除悬浮态光刻胶，原料罐A、B中的滤后液交替进入电渗析膜堆深度提纯，剩余废液外排。本实用新型实现TMAH废液处理过程危险废弃物零排放，且可完全回收光刻胶。

本实用新型一种半导体行业TMAH废液回收连续运行的系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体行业TMAH废液回收连续运行的系统，其特征在于：包括依次连接的初步提纯子系统和深度提纯子系统； 所述初步提纯子系统包括依次连接的一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器； 所述深度提纯子系统包括原料罐A和原料罐B，所述原料罐A和原料罐B进料口均与所述初步提纯子系统出料口连接，出料口均连接电渗析膜堆，所述电渗析膜堆的TMAH提纯液输出口连接浓度适配子系统，废液输出口分别连接所述原料罐A和原料罐B的回流口及TMAH废液罐； TMAH废液经所述初步提纯子系统的所述一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器去除悬浮态光刻胶，滤后液进入所述深度提纯子系统的所述原料罐A和原料罐B，所述原料罐A和原料罐B中的滤后液交替进入所述电渗析膜堆进行深度提纯处理，深度提纯的TMAH提纯液送至浓度适配子系统，剩余废液外排。

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