湖北鹏煊智能科技发展有限公司赵梓睿获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北鹏煊智能科技发展有限公司申请的专利一种晶圆超声波高频清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224181551U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521781590.6,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种晶圆超声波高频清洗设备是由赵梓睿;赵焱军;赵爱琴设计研发完成,并于2025-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆超声波高频清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆清洗技术领域,且公开了一种晶圆超声波高频清洗设备。该装置通过将多组晶圆放置在晶圆花篮内,然后通过电动推杆的伸长,带动连接杆、工字型支架和限位板上移,从而便于晶圆花篮的安放,再通过电动推杆的收缩使晶圆花篮位于超声波清洗池内适宜清洗的高度,然后通过超声波和喷淋组件双重清洗方式,对晶圆进行清洗,同时,又通过往复式电动推杆的往复移动,避免晶圆在清洗过程中出现局部清洗不到位的情况,进一步提高清洗的效果和质量。
本实用新型一种晶圆超声波高频清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆超声波高频清洗设备,其特征在于:包括超声波清洗池和安装架,所述超声波清洗池的内壁设置有喷淋组件,所述超声波清洗池的内部设置有用于移送晶圆的承载组件,所述超声波清洗池的外表面通过支撑架设置有控制面板; 承载组件包括固定安装在超声波清洗池外表面的连接框,以及固定安装在连接框上表面内部的往复式电动推杆,所述往复式电动推杆的伸缩端固定安装有移动块,所述移动块的上表面设置有电动推杆,所述电动推杆的伸缩端固定安装有连接杆,所述连接杆的底端设置有工字型支架,所述工字型支架的上表面焊接有限位板,所述限位板的上表面与工字型支架的内部嵌合连接有晶圆花篮,所述工字型支架的底部可拆卸安装有过滤网板。
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