江苏山水半导体科技有限公司李星获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏山水半导体科技有限公司申请的专利一种硅片加工清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224181549U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521083210.1，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种硅片加工清洗设备是由李星;李仕权;王辰伟;雷双双;刘飞设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片加工清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片加工清洗设备，包括外壳，所述外壳内部固定有清洗槽，所述清洗槽内底壁固定有超声波换能器，所述外壳内底壁安装有超声波发生器，所述清洗槽内部固定有清洗篮，所述清洗篮包括两个半圆板和U型板，且U型板位于两个半圆板上方，两个所述半圆板顶端两侧共同固定有两个方杆。本实用新型中，设置外壳、清洗槽、超声波换能器和清洗篮，清洗篮由半圆板、方杆、底杆、U型板和顶杆组成，硅片清洗时，直接将硅片置于清洗篮内部，再将清洗篮固定在清洗槽内部，通过超声波清洗，清洗完成后将清洗篮整体从清洗槽内部取出，然后更换另一个清洗篮继续清洗，由此提高清洗的效率。
本实用新型一种硅片加工清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片加工清洗设备，包括外壳1，其特征在于：所述外壳1内部固定有清洗槽2，所述清洗槽2内底壁固定有超声波换能器3，所述外壳1内底壁安装有超声波发生器4，所述清洗槽2内部固定有清洗篮5，所述清洗篮5包括两个半圆板51和U型板54，且U型板54位于两个半圆板51上方，两个所述半圆板51顶端两侧共同固定有两个方杆52，两个所述半圆板51底端两侧通过轴承转动连接有两个用于支撑硅片的底杆53，所述U型板54两端底部均固定有竖杆55，两个所述半圆板51顶部均开设有用于插入竖杆55的插槽56，所述U型板54内部通过轴承转动连接有顶杆58，所述清洗槽2内部底端且位于清洗篮5下方通过轴承转动连接有胶辊8。
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