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龙图腾网获悉无锡超通智能制造技术研究院有限公司申请的专利一种精细金属掩模版TPCD检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121742119B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610230569.X，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权一种精细金属掩模版TPCD检测设备是由运侠伦;李晓;赵亮;叶猛;张宝存设计研发完成，并于2026-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精细金属掩模版TPCD检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种精细金属掩模版TPCD检测设备，包括基座、放料平台、桁架、放料机构、并联机器人、检测平台、Y向气浮模组和检测机构。基座左右两侧均设有X向运料模组，基座顶部的左右两端均设有X向气浮模组，基座顶部的中间位置设有X向检测模组；放料平台设于基座前侧，其顶部的左右两端均设有Z向放料模组；桁架与X向运料模组滑动连接；放料机构与Z向放料模组滑动连接，并包括多个呈抽屉式上下堆叠排列的料盘；并联机器人左右并列安装于桁架上；检测平台与X向检测模组滑动连接；Y向气浮模组与X向气浮模组滑动连接；检测机构与Y向气浮模组滑动连接。本申请提供一种具备柔性物料管理、高速高精度搬运及多尺寸FMM产品兼容能力的TPCD检测设备。

本发明授权一种精细金属掩模版TPCD检测设备在权利要求书中公布了：1.一种精细金属掩模版TPCD检测设备，其特征在于，包括： 基座1，所述基座1左右两侧均设有X向运料模组11，所述基座1顶部的左右两端均设有X向气浮模组12，所述基座1顶部的中间位置设有X向检测模组13； 设于所述基座1前侧的放料平台2，其顶部的左右两端均设有Z向放料模组21； 位于所述基座1上方的桁架3，呈“冂”字形结构，并与所述X向运料模组11滑动连接； 放料机构4，与所述Z向放料模组21滑动连接，并包括多个呈抽屉式上下堆叠排列的料盘41； 并联机器人5，左右并列安装于所述桁架3上； 两个检测平台6，前后并列设置于所述并联机器人5下方，并与所述X向检测模组13分别滑动连接；所述两个检测平台6的规格独立设置； 位于所述检测平台6上方的Y向气浮模组7，与所述X向气浮模组12滑动连接； 设于所述Y向气浮模组7后侧的检测机构8，与所述Y向气浮模组7滑动连接； 其中： 所述放料机构4还包括： 多个X向直线导轨42，分别固定于各个所述料盘41左右两侧，所述X向直线导轨42朝向其前侧延伸； 位于所述料盘41下方的下连接板43，与所述Z向放料模组21滑动连接； 设于所述下连接板43顶部的左右两端的侧连接板44，与所述X向直线导轨42远离所述料盘41的一侧滑动连接； 与所述各个X向直线导轨42对应设置的多个伺服电机45，上下间隔排列于所述侧连接板44靠近所述Z向放料模组21的一侧，所述伺服电机45驱动所述X向直线导轨42带动所述料盘41前后移动； 所述并联机器人5包括： 电机模组51，固定于所述桁架3上，并包括两个独立的驱动端； 机械臂组件52，包括：设于所述电机模组51前侧的两个主动臂521，与所述电机模组51的两个驱动端分别连接；所述电机模组51驱动所述主动臂521在YZ平面上摆动；所述机械臂组件52底部设有X向连杆53； 吸附组件54，设于所述X向连杆53靠近所述X向运料模组11的一侧，并包括多个等距间隔排列的吸附头541； 相机组件55，设于所述X向连杆53远离所述吸附组件54的一侧。

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