上海邦芯半导体科技有限公司沈康获国家专利权
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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种用于高氢制程的反应腔体及等离子体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121726304B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610209084.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种用于高氢制程的反应腔体及等离子体处理设备是由沈康;涂乐义;苏正扬设计研发完成，并于2026-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于高氢制程的反应腔体及等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆处理设备技术领域，尤其涉及一种用于高氢制程的反应腔体及等离子体处理设备，包括石英管；第一线圈环绕设于石英管的外侧，并与外设的射频电源连接；法拉第屏蔽笼环设于石英管外，并设于石英管和第一线圈之间，法拉第屏蔽笼上开设有若干个贯穿其侧壁且沿轴向延伸的狭缝；阻挡件设于石英管内，且所述阻挡件在所述法拉第屏蔽笼的周向侧壁上的正投影形成的结构覆盖所述第一线圈在所述法拉第屏蔽笼的周向侧壁上的正投影形成的结构；本发明通过在石英管内设置阻挡件，能够有效阻挡高氢制程中产生的等离子体对石英管内壁的集中轰击，显著减轻石英管的侵蚀和颗粒物剥落的问题，从而提升等离子体处理设备的工艺良率与机台使用寿命。
本发明授权一种用于高氢制程的反应腔体及等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种用于高氢制程的反应腔体，其特征在于，包括： 石英管，设于处理室； 第一线圈，环绕设于所述石英管的外侧，并与外设的射频电源连接，用于产生能够进入所述石英管内的交变磁场并通过所述交变磁场感应出涡流电场，以加速自由电子撞击工艺气体产生等离子体； 法拉第屏蔽笼，环设于所述石英管外，并设于所述石英管和所述第一线圈之间，所述法拉第屏蔽笼上开设有若干个贯穿其侧壁且沿轴向延伸的狭缝，以允许所述交变磁场通过所述狭缝进入到所述石英管内； 阻挡件，设于所述石英管内，且所述阻挡件在所述法拉第屏蔽笼的周向侧壁上的正投影形成的结构覆盖所述第一线圈在所述法拉第屏蔽笼的周向侧壁上的正投影形成的结构，以用于阻挡所述等离子体轰击所述石英管的内壁。
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